Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227371 à vendre en France
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CANON/ANELVA ILD 4100SR est un graveur/asher de dimension critique conçu spécifiquement pour la production de masse. C'est une machine très précise et fiable avec un équipement de vision infrarouge unique qui permet une mesure rapide et précise des motifs de surface, de largeur de ligne ou d'encoche, ce qui la rend idéale pour les applications semi-conductrices. CANON ILD-4100SR est un graveur/asher sous vide, permettant d'enlever des matériaux jusqu'à une profondeur prédéterminée avec un contrôle serré sur la vitesse de gravure. Sa précision est obtenue en contrôlant le taux d'enlèvement des matériaux plutôt que de s'appuyer sur la gravure chimique, couramment utilisée dans les graveurs/cendres. ANELVA ILD-4100 SR dispose d'un système de charge à deux étages, dans lequel le premier étage charge le canon à électrons secondaire et le deuxième étage charge l'unité de vision infrarouge. Cette machine de charge permet des réglages de précision et un contrôle des vitesses de gravure. De plus, une technologie à plasma à couplage inductif (PIC) est utilisée pour éliminer le matériel uniformément et sans abrasion. CANON ILD 4100 SR peut également être utilisé dans la fabrication de composants MEMS (microélectromécanique) pour des applications dans les microprocesseurs à puce, les biocapteurs et les applications diagnostiques. Dans la fabrication MEMS, la machine est capable de créer des canaux ultra-fins et des cavités à moins de 1 micron de profondeur. La machine a également été conçue pour travailler avec une gamme de matériaux de gravure, y compris le silicium, le silicium polycristallin, l'oxyde de silicium, l'aluminium et les composés III-V. L'accent mis sur la sécurité et la protection de l'environnement est clairement mis dans cette conception de graveurs/cendres, avec une large gamme de caractéristiques de sécurité et d'échappement, y compris les embrayages, les neutraliseurs de gaz dangereux et les ventilateurs d'échappement à vitesse variable. CANON ILD-4100 SR est également très efficace en gravure avancée et dans les applications de réduction de la taille des fonctionnalités. Cela est obtenu grâce à l'utilisation de paramètres spécifiques, permettant un contrôle précis du processus de gravure et des résultats obtenus. En conclusion, CANON/ANELVA ILD 4100 SR est un outil de graveur/cendrier sophistiqué conçu pour des applications semi-conductrices de production de masse. Sa flexibilité et sa capacité d'adaptation le rendent adapté à un large éventail de procédés, ainsi qu'à la fabrication de systèmes microélectromécaniques et à des applications avancées de gravure et de réduction de taille. Grâce à ses solides caractéristiques de sécurité et d'environnement, il est idéal pour être utilisé dans des environnements contrôlés et dangereux.
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