Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #9374944 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4100SR est un équipement de graveur/asher conçu pour divers types d'applications physiques de gravure et de cendrage. Il s'agit d'un système de gravure/ashing performant qui utilise une source de plasma à couplage inductif (ICP) pour induire un plasma. Ce plasma est ensuite utilisé pour la gravure et la cueillette de plaquettes de différents types et tailles. CANON ILD-4100SR est capable de traiter jusqu'à 8 x 8 pouces de plaquettes. ANELVA ILD-4100 SR est une unité qui dispose d'une structure de commande de gaz multi-étages pour la gravure précise et l'ashing des plaquettes. Cette machine dispose d'une unité de contrôle de gaz à 3 zones qui est utilisée pour assurer des résultats de gravure et de cueillette stables. L'unité de contrôle des gaz contribue également à réduire la production de particules dans la chambre de gravure/cueillette. CANON/ANELVA ILD-4100 SR utilise un outil optiquement actionné de protection contre les splash (OAP) pour protéger le substrat et les composants en réduisant le risque d'interaction d'étincelles avec d'autres composants. Cet actif permet de garantir que les dépôts et les gravures se produisent dans un environnement optimal et que toute zone critique ou tout composant sensible ne soit pas endommagé. ILD-4100 Modèle SR dispose également d'expériences en boucle fermée pour le suivi ultra-précis des paramètres. Cela permet aux utilisateurs d'expérimenter avec des paramètres de contrôle de processus rapidement et avec précision, même pendant les opérations réelles, permettant aux utilisateurs de tirer le meilleur parti de leurs résultats de gravure et d'ashing processus. CANON ILD 4100 SR est un équipement autonome qui dispose d'un système de chargement et de déchargement automatisé pour aider à rationaliser le processus de gravure et de cueillette. Cette unité automatisée permet de réduire le temps de traitement et d'installation et de s'assurer que les plaquettes sont gravées et cendrées dans les conditions les plus optimales. Dans l'ensemble, ILD 4100 SR est une machine de graveur/asher haute performance conçue pour divers types d'applications de gravure physique et de processus de cendrage. Cet outil comprend une source ICP, une unité de contrôle des gaz à 3 zones, Optically Acated Splash Protection Asset (OAP), une fonctionnalité d'expériences en boucle fermée et un modèle de chargement et de déchargement automatisé pour optimiser les résultats des processus de gravure et d'ashing.