Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #9398262 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4100SR etcher est un appareil de gravure ionique avancé utilisé pour la production précise de composants semi-conducteurs de haute performance. Cet équipement est conçu pour l'injection ionique directe afin d'obtenir une gravure très précise de matériaux tels que le silicium, l'aluminium et d'autres matériaux de substrat. CANON ILD-4100SR dispose d'une grande chambre à vide avec un système de pompage de haute précision, une source ionique double source, un système de porte-plaquettes à trois étages et un panneau plasma commandé par ordinateur. Il convient à la gravure de géométries planaires et non planaires avec une taille de caractéristique inférieure à 0,1 µm et une profondeur de 0,2 µm. ANELVA ILD-4100 SR est équipé de bras robotisés indépendants et d'une buse résistante à la chaleur pour assurer une gravure cohérente et uniforme. Les bras du robot assurent des mouvements précis et répétables, tandis que la buse est faite de matériaux à haute température pour éviter les dommages lors des processus à haute température. La buse a un foyer guidé réglable qui empêche le recouvrement de la surface du faisceau d'ions et du substrat pendant le processus de gravure. Cela permet de produire des résultats de haute qualité avec des dommages minimes aux plaquettes et des caractéristiques de gravure cohérentes. ANELVA ILD-4100SR dispose également d'un obturateur à faisceau à grande vitesse pour contrôler la longueur de la gravure. Cela garantit des temps de cycle plus courts sans sacrifier la qualité ou la performance. De plus, des plaques de blindage dans la chambre de gravure peuvent être ajustées pour aider à éliminer les ions secondaires d'entrer dans la zone de travail pendant le processus de gravure. On évite ainsi la formation de résidus indésirables susceptibles d'entraver les caractéristiques de gravure souhaitées. ILD-4100 SR dispose également de fonctions avancées de surveillance des processus telles que le mode de protection des paramètres, la surveillance à très faible courant et le contrôleur de boucle de rétroaction. Ceci garantit la plus grande précision de gravure et la répétabilité. De plus, le CANON ILD 4100 SR est équipé d'une chambre à très faible bruit pour réduire les interférences électromagnétiques et offrir un environnement de fonctionnement sûr. Dans l'ensemble, ILD-4100SR est un graveur/asher avancé offrant des performances et une précision supérieures. La combinaison des bras robotiques, des buses réglables et du mode de protection des paramètres permet d'obtenir des résultats de gravure cohérents tout en réduisant les temps de cycle. En outre, ce système fournit également une surveillance avancée des processus pour assurer la plus grande précision de gravure et la répétabilité.