Occasion CHEMCUT / ATOTECH 315 #293820962 à vendre en France

CHEMCUT/ATOTECH 315 est un équipement de graveur et asher très avancé utilisé dans les établissements de fabrication et de recherche de semi-conducteurs pour l'élimination précise et contrôlée des couches minces et des résidus des plaquettes semi-conductrices. Cet équipement de pointe combine les capacités de gravure et d'ashing dans une plate-forme unique, offrant une flexibilité et une efficacité accrues des processus. Le système repose sur une technologie innovante et des principes de conception pour répondre aux exigences strictes de l'industrie des semi-conducteurs pour obtenir des résultats de processus performants, fiables et reproductibles. Une des caractéristiques clés de CHEMCUT 315 est son fonctionnement en mode double, permettant aux utilisateurs de passer d'un processus de gravure à un processus de cendrage sans heurt. La gravure consiste à retirer sélectivement des couches de matériaux de la surface de la plaquette par des moyens chimiques ou physiques, tandis que l'aspiration consiste à éliminer les résidus organiques et inorganiques par oxydation contrôlée. L'unité offre une large gamme de gaz de procédé et de sources de plasma pour adapter les conditions de gravure et de cueillette aux propriétés spécifiques des matériaux et aux exigences du procédé. Les capacités avancées de contrôle de processus ATOTECH 315 permettent un contrôle précis des paramètres de processus tels que les débits de gaz, les niveaux de puissance, la température, la pression et la chimie du plasma. Ce niveau de contrôle assure une gravure et une cendre uniformes sur la surface de la plaquette, assurant une répétabilité et un rendement de processus élevés. La machine est équipée de fonctions avancées de surveillance du processus et de détection du point d'extrémité pour déterminer avec précision le point d'extrémité du processus de gravure ou de cueillette, en évitant le surgravure ou la sous-gravure. 315 est conçu pour des environnements de production à haut débit, offrant des temps de cycle rapides et des vitesses de traitement des plaquettes élevées. L'outil dispose d'une conception multi-chambres avec des capacités de manutention automatisée des plaquettes, permettant un traitement continu de plusieurs plaquettes en une seule fois. L'actif comprend également la robotique avancée et la technologie de cartographie des plaquettes pour le positionnement et l'alignement précis des plaquettes pendant le traitement. Outre ses capacités de production à haut débit, CHEMCUT/ATOTECH 315 est également adapté aux applications de recherche et développement. Le modèle offre une flexibilité de processus pour accueillir un large éventail de matériaux de film et de configurations de pile, ce qui le rend idéal pour l'optimisation des processus et l'exploration de nouveaux matériaux. Les chercheurs peuvent utiliser les recettes de processus programmables de l'équipement et les paramètres de processus personnalisables pour développer et peaufiner les processus de gravure et d'ashing pour des applications spécifiques. Dans l'ensemble, CHEMCUT 315 est un système de graveur et d'asher à la fine pointe de la technologie qui offre un contrôle avancé des processus, des capacités de débit élevées et une flexibilité de processus pour une large gamme d'applications de fabrication et de recherche de semi-conducteurs. Sa conception innovante, ses caractéristiques de contrôle précises et ses performances fiables en font un outil précieux pour obtenir des résultats de gravure et d'ashing de haute qualité dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.