Occasion CI SCIENCE Torus 300K #9373223 à vendre en France
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CI SCIENCE Torus 300K est un graveur/asher spécialement conçu pour le traitement des semi-conducteurs à haut débit. Cet équipement est capable de traiter jusqu'à 300 plaquettes par lot, ce qui permet un traitement rapide de plusieurs appareils en même temps. Les principaux composants de ce système sont la chambre de procédé, l'unité de mesure des particules, le régulateur de température et le microcontrôleur. La chambre de traitement est conçue pour minimiser la contamination de surface par une série de filtres, tandis que la machine de mesure des particules permet de s'assurer que la plaquette est exempte de particules avant d'être traitée. Le contrôle de température est nécessaire pour contrôler la température de l'outil et il utilise un algorithme de contrôle PID avancé pour obtenir un haut niveau de précision. Le microcontrôleur est utilisé pour contrôler l'ensemble de l'actif, permettant un contrôle précis de tous les composants. Le modèle est équipé d'un générateur RF haute fréquence, permettant d'obtenir une gravure à haut rapport d'aspect, et l'utilisation d'une source programmable facultative permet de générer des profils complexes pour des processus répétitifs. Cet équipement est également équipé d'un système d'échappement multi-zones, permettant un nettoyage amélioré de la chambre à vide après chaque opération. L'unité est également équipée d'un microscope optionnel, permettant une inspection visuelle des plaquettes traitées avant leur expédition. En outre, la machine offre un outil automatique de planification et de journalisation, permettant un suivi et une analyse faciles des processus. La flexibilité de l'actif permet l'utilisation des processus de gravure humide et sèche avec une seule machine, et son entretien à faible coût fait de Torus 300K un choix idéal pour tout environnement à haut débit. Avec sa conception efficace et ses performances fiables, CI SCIENCE Torus 300K propose une valeur imbattable pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.
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