Occasion CORIAL 300 iL #293634078 à vendre en France
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CORIAL 300 iL est un équipement compact, à haut débit et à faible coût de gravure ionique réactive (RIE) asher. 300 iL utilise des fréquences AC propriétaires avec une large gamme de paramètres permettant une large gamme d'applications. Le système a une haute capacité de gravure de ratio d'aspect avec une excellente répétabilité du processus et une manipulation supérieure des plaquettes. CORIAL 300 iL offre la flexibilité de traiter tous les matériaux disponibles, y compris, mais sans s'y limiter, les polymères, les métaux, les nitrures, les oxydes et les diélectriques. Cette unité de gravure à l'échelle atomique avancée dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive avec des capacités complètes de construction de recettes, permettant aux utilisateurs de personnaliser leurs propres recettes de gravure. Il dispose également d'une cartographie visuelle des plaquettes et d'une machine de suivi automatique des plaquettes, améliorant la répétabilité et éliminant le besoin de contrôle manuel des processus. 300 iL a un haut rendement quantique rapide et basse tension (0- 1 V) générateur de micro-ondes de canon à ions pour les capacités de gravure de précision. CORIAL 300 iL est équipé d'une turbomachine haute performance, capable de réaliser un vide de 5x10-7 torr pour des vitesses de gravure supérieures. Il dispose également d'un outil de filtration des particules pour assurer les niveaux de propreté les plus élevés. Les dispositifs de sécurité intégrés comprennent un détecteur de fuite de gaz, un dispositif d'interception de surcharge et un interrupteur de sécurité incendie et gaz, offrant un environnement de fonctionnement sûr. En outre, 300 iL offre plusieurs recettes de processus et options de rénovation, et est extensible avec jusqu'à trois chambres. CORIAL 300 iL est un graveur/asher ionique réactif idéal pour les composants de haute technologie produisant en masse, tels que MEMS et autres microdevices. Il est simple à exploiter et a des performances constantes, ce qui en fait un outil précieux pour la R-D industrielle et les installations de production.
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