Occasion CORIAL 300 iL #293695744 à vendre en France

CORIAL 300 iL est un équipement de gravure et d'asher haute performance. Il est conçu pour offrir une flexibilité exceptionnelle et une large gamme de capacités pour diverses applications de gravure et de cendrage. La conception unique de 300 iL est particulièrement adaptée à la gravure et à la cueillette de divers matériaux, allant de l'acier au verre, la céramique et les substrats semi-conducteurs. Le système est équipé de technologies de pointe de gravure optique et sèche, fournissant une architecture d'unité supérieure et le contrôle des processus. CORIAL 300 iL dispose d'une source de plasma qui permet une large fenêtre de gravure de faible à haute puissance rf. La rf-source est intégrée en permanence dans la machine, fournissant une activation rapide et facile de l'outil et la mise en place de la recette à l'aide d'un logiciel de contrôle dédié. 300 iL est également capable de recuit thermique rapide. Il dispose d'une plaque chaude, chauffée jusqu'à 700 ° C et d'un temps de réponse rapide. Cela permet une stabilisation de la température et une meilleure répétabilité du procédé. L'Actif dispose également de filtres de protection haute opacité, protégeant les éléments optiques pendant la gravure et la cendre. Cela garantit la durabilité du modèle, minimisant les coûts de maintenance pour l'opérateur. La réduction des composants organiques volatils (COV) est également l'une des caractéristiques clés de CORIAL 300 iL. La chambre de procédé fermée permet un niveau plus élevé d'automatisation des procédés et une réduction des procédés de post-nettoyage à base de solvants. L'équipement est également équipé de diagnostics à distance et de fonctions de service à distance, ce qui permet une disponibilité élevée et des coûts d'entretien réduits. 300 iL offre une large gamme de profils ICP-CF4-etched et une uniformité de gravure. Son fonctionnement convivial et ses puissantes capacités de contrôle des processus en font un outil approprié pour une large gamme d'applications de gravure et de cendrage.