Occasion CORIAL 300 iL #9272935 à vendre en France

Fabricant
CORIAL
Modèle
300 iL
ID: 9272935
Style Vintage: 2011
ICP Etcher 2011 vintage.
CORIAL 300 iL etcher/asher est conçu pour les applications à haut débit et offre d'excellentes caractéristiques de transfert. Il dispose d'une large chambre de traitement de 300 millimètres avec 8 serrures et est équipé de 24 wafers adaptateur robot pour le chargement et le déchargement des plaquettes. 300 iL est également équipé de multiples interfaces de communication pour l'interfaçage des processus et les configurations flexibles des recettes, le rendant adaptable à une variété de processus de gravure et d'ashing. CORIAL 300 iL est conçu pour des processus de haute précision et est conçu avec un certain nombre de fonctionnalités automatiques qui assurent une uniformité de gravure constante élevée. Son système de commande moteur avancé assure une grande vitesse et précision avec un minimum de vibrations et de distorsion thermique. Les débits élevés permettent des temps de traitement plus courts et un débit global plus élevé. 300 iL supporte divers gaz et produits chimiques tels que l'oxygène (O2), l'azote (N2), le dioxyde de carbone (CO2), l'argon (Ar) et le silane (SiH4). CORIAL 300 iL est entièrement automatisé, avec un contrôle automatique de la pression, de la température et du vide. Il est équipé d'un système de contrôle automatique du débit de gaz pour un contrôle dynamique précis et répétable pendant les processus de gravure et de cueillette. La conception de la chambre permet un accès facile à la chambre de procédé et fournit un confinement efficace des gaz, ce qui la rend sûre et efficace à utiliser. 300 iL offre également des mesures de processus réduites ainsi que des temps d'arrêt minimisés. Il intègre un certain nombre de caractéristiques de sécurité telles que la surveillance de la pression et des fuites et peut être facilement intégré dans les environnements de production existants. Les interfaces de communication multiples du système assurent une communication facile entre les autres systèmes et avec l'ordinateur hôte, permettant un contrôle automatique efficace des processus. Dans l'ensemble, CORIAL 300 iL etcher/asher est un excellent choix pour les utilisateurs à la recherche de processus de gravure et d'ashing de haute précision. Ses fonctionnalités avancées assurent une uniformité de gravure constante et réduisent considérablement les temps de processus et les temps d'arrêt. En outre, ses interfaces de communication multiples permettent une intégration facile dans les environnements de production existants et fournissent un contrôle automatique efficace des processus.
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