Occasion CORIAL 300 iL #9272964 à vendre en France

CORIAL 300 iL est un graveur/asher à plasma sec de pointe idéal pour la structuration de dispositifs micro et nanométriques avancés. Il dispose d'une architecture bi-faisceau unique qui permet la gravure/cristallisation simultanée de 2 substrats indépendants. 300 iL est l'outil parfait pour la structuration à haut rapport d'aspect dans les semi-conducteurs, les diélectriques, les résines, les couches d'oxyde et les cellules solaires. Son architecture unique à double faisceau se compose de deux chambres sources, chacune isolée de l'autre mais reliée à la même chambre à vide. Chaque chambre de source a un gaz source différent - un pour la gravure et un pour la cristallisation, selon le procédé en cours. Les deux sources de gaz sont pompées par une paire de pompes à vide haute à plusieurs étages, ce qui crée des niveaux d'ultra-haute pression sous vide (UHV) et assure une répétabilité élevée du processus. CORIAL 300 iL utilise un générateur RF (Radio Frequency) pour fournir l'énergie d'excitation pour l'ionisation du faisceau. Ce générateur RF est très stable et peut être configuré pour fonctionner en mode haute puissance (2 kW) ou basse puissance (400 W), selon vos besoins de processus. 300 iL offre une large gamme opérationnelle pour la composition du gaz source, et peut être utilisé avec n'importe quel type de gaz de procédé. CORIAL 300 iL est équipé d'un équipement avancé d'électronique de commande sophistiquée qui permet de régler avec précision le temps de gravure, la répétabilité et la précision dans la profondeur de gravure et la taille des caractéristiques. La température de la table de substrat et des stations sources peut être réglée à un niveau approprié pour assurer un contrôle précis de la température sur l'ensemble de la structure du dispositif. Cela rend 300 iL bien adaptés à des procédés comme le dépôt de couches ultra minces, ainsi qu'aux processus de croissance et de diffusion des matériaux. En outre, CORIAL 300 iL dispose d'un système de sécurité intégré pour assurer la sécurité de l'opérateur et de l'unité. En cas d'urgence, la machine s'arrête automatiquement et tout le matériel restant dans la chambre à vide est évacué en toute sécurité avant que l'outil puisse être redémarré. 300 iL est un choix optimal pour les applications avancées de gravure/structure et convient à tous les processus de recherche, de développement et de production. Ce puissant dispositif est conçu pour fournir une gravure et une cristallisation de haute précision avec une répétabilité et une stabilité exceptionnelles, et est sûr d'être un ajout précieux à toute installation de salle blanche.