Occasion CORIAL 300 iL #9272971 à vendre en France
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CORIAL 300 iL est une unité de gravure et de cendrage avancée déployée dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa plate-forme offre de courts cycles de gravure et de cendrage avec une grande précision et répétabilité, ce qui donne une finition de surface de haute qualité. CORIAL 300 est conçu pour un large éventail de besoins de gravure et de cendrage, des plaquettes singlecrystales à la cuvette de revêtement photorésist multi-sites. Une variété de procédés peuvent être réalisés sur CORIAL 300, y compris la gravure à base de chlore, la gravure au silicium et le broyage ionique. La plateforme de CORIAL 300 offre également une excellente répétabilité des processus. L'outil de gravure et de cueillette est équipé de systèmes de refroidissement sophistiqués qui permettent de contrôler la température de traitement, même en cas de changement des conditions de gravure. Cela permet aux opérateurs de conserver le même nombre de sites dans toute une série de conditions. CORIAL 300 dispose également de capacités de cendrage complètes et d'une fonction intégrée qui empêche la contamination croisée entre les plaquettes. 300 iL a une taille standard de chambre de 600 x 600 millimètres et une tolérance de 1 micron lors de la disposition de la chambre principale. Son processus automatisé en quatre étapes comprend le pré-nettoyage, l'étape de gravure, le nettoyage après gravure et le cendrage après gravure. Le processus est contrôlé par une série de contrôleurs logiques programmables qui peuvent être programmés pour exécuter parfaitement la séquence. CORIAL 300 est idéalement alimenté par une entrée alternative triphasée, et sa consommation électrique est minimale à moins de 0,5 kW. La température ambiante de fonctionnement de CORIAL 300 est comprise entre 15 ° C et 40 ° C, et l'humidité relative est comprise entre 10 et 90 %. CORIAL 300 offre également un fonctionnement à faible bruit, avec un niveau de pression sonore de seulement 62 dBA à une distance de 1 mètre. Afin de maintenir le fonctionnement de CORIAL 300 en état de pointe, les opérateurs doivent effectuer des travaux d'entretien si nécessaire. Afin de maintenir CORIAL 300 à jour, son logiciel devrait être mis à jour régulièrement pour garantir une performance optimale. Dans l'ensemble, CORIAL 300 iL est une unité de gravure et de cueillette avancée capable de fournir une excellente répétabilité des processus et des résultats de haute qualité. Son système de refroidissement sophistiqué, son processus automatisé en quatre étapes et son fonctionnement à faible bruit en font un choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs.
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