Occasion CORIAL D500 #9386289 à vendre en France

CORIAL D500 est un équipement de gravure/ashing conçu avec une excellente précision pour le traitement exigeant des composants haut de gamme. C'est un système compact et robuste qui offre une excellente répétabilité et contrôle de processus et peut être adapté à une grande variété d'exigences de processus. L'unité est constituée d'une chambre à vide modulaire de haute précision, simple ou double niveau, avec revêtement conforme pour éviter les dépôts de micro-particules. La machine est également équipée de capteurs de température et de pression précis pour le contrôle en boucle fermée, permettant une surveillance et un contrôle efficaces et précis des conditions de processus. D500 wafer etcher, est un outil polyvalent capable de graver divers substrats, notamment des plaquettes de silicium, de la silice, du quartz, de l'aluminium, des substrats semi-isolants et des matériaux isolants. Le procédé peut également être adapté pour graver des structures multicouches de couches diélectriques et de structures TSV (Through Silicon Via). L'actif est configurable avec un processus de gravure basse pression ou haute pression et supporte également la manutention automatisée des plaquettes et le prétraitement des substrats. La conception du modèle permet également une chambre de procédé interchangeable pour les procédés avec des chimistes agressifs, comme la gravure humide, la gravure profonde avec la possibilité d'utiliser des gaz de chlore ou la gravure AJA. L'équipement dispose d'une technologie de cartographie de mouvement ultrafine qui fournit un processus de gravure rapide et précis, qui assure une correspondance réussie des processus entre les plaquettes à motifs et les plaquettes de gabarit. CORIAL D500 est équipé d'une technologie avancée d'alignement des masques pour un alignement précis des matériaux du substrat avec le masque de gravure. Cela facilite un processus de gravure précis et répétable sur des substrats simples ou double face. En outre, le système dispose également d'une unité de surveillance des défauts en cours de fabrication pour une meilleure précision de gravure et reproductibilité. D500 convient à des applications de recherche et développement en cryo et gravure sèche ainsi qu'à une production à faible volume et à haut volume. Avec ses caractéristiques uniques, la machine offre une précision et une précision élevées, une robustesse et un excellent contrôle des processus. CORIAL D500 est le choix idéal pour les exigences de processus difficiles de l'industrie moderne des semi-conducteurs.