Occasion DENTON VACUUM Z-Flex #293798648 à vendre en France
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ID: 293798648
Taille de la plaquette: 12"
Ion Beam Deposition (IBD) system, 12"
INFICON IC6 Quartz crystal rate controller with dual sensor head
Single wafer load lock
Water-cooled chamber
(2) Sets of linear chambers
(2) Turbo pumps
(2) Dry scroll pumps
Water pump
Water cooled stage
Wafer rotation speed: 15-35 RPM
Turret with (4) Targets, 10"
Deposition ion source:
ICP RF Source: 14 cm
Etch ion source:
ICP RF Source: 36 cm.
DENTON VACUUM Z-Flex est un équipement de pointe de graveur/asher qui offre des capacités avancées pour les applications de traitement de surface plasma. Cet outil hautement efficace et fiable est conçu pour le traitement précis et contrôlé de divers matériaux afin d'obtenir les propriétés de surface souhaitées pour un large éventail d'industries, y compris les semi-conducteurs, la microélectronique, MEMS/NEMS, et biomédical. Au cœur du système Z-Flex se trouve sa technologie de production de plasma de pointe. L'unité utilise une source de plasma haute densité pour créer un environnement plasma uniforme et stable qui assure des résultats de traitement cohérents. La source de plasma est alimentée par un générateur RF qui contrôle les paramètres plasmatiques tels que la densité, la température et la chimie pour adapter le processus de traitement de surface en fonction des exigences spécifiques. Une des caractéristiques clés de la machine DENTON VACUUM Z-Flex est sa flexibilité dans le traitement de différents types de matériaux. Qu'il s'agisse de matériaux diélectriques, de métaux, de semi-conducteurs, de polymères ou de céramiques, l'outil est capable de fournir des procédés de gravure/cueillette précis pour modifier les propriétés de surface telles que la rugosité, l'adhérence, la mouillabilité et la réactivité chimique. Cette flexibilité permet aux utilisateurs de relever divers défis de modification de surface dans leurs processus de recherche ou de fabrication. En outre, Z-Flex offre une gamme de gaz de procédé et d'espèces réactives pour permettre un large éventail d'options de traitement de surface. Les utilisateurs peuvent choisir parmi une variété de gaz tels que l'oxygène, l'argon, l'azote, et d'autres pour contrôler l'environnement chimique dans la chambre de procédé. En outre, des gaz réactifs tels que le CF4, le SF6 et d'autres peuvent être introduits pour améliorer les capacités de gravure/ashing pour des types de matériaux spécifiques. Le modèle est équipé de fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus pour garantir des résultats précis et reproductibles. La surveillance en temps réel des paramètres plasmatiques tels que les débits de gaz, la pression, les niveaux de puissance et la température permet aux utilisateurs d'optimiser les conditions de processus pour une efficacité maximale et la qualité du traitement de surface. L'équipement comprend également des recettes de processus automatisées et des logiciels de contrôle qui simplifient le fonctionnement et réduisent l'intervention des utilisateurs, ce qui facilite l'obtention de résultats cohérents et reproductibles. En termes de sécurité et de commodité, le système DENTON VACUUM Z-Flex est conçu avec des caractéristiques conviviales et une construction robuste. L'unité est équipée d'embouts de sécurité, de boutons d'arrêt d'urgence et d'alarmes pour assurer la sécurité de l'opérateur pendant le fonctionnement. La conception de la chambre est optimisée pour faciliter le chargement et le déchargement des échantillons, et les tâches d'entretien sont simplifiées pour un temps d'arrêt minimal et une productivité maximale. Dans l'ensemble, la machine Z-Flex etcher/asher est un outil polyvalent et fiable pour des applications de traitement de surface précises dans diverses industries. Grâce à sa technologie avancée de génération de plasma, à sa flexibilité dans le traitement de différents matériaux et à ses fonctions complètes de contrôle des processus, l'outil offre aux utilisateurs une solution puissante pour obtenir des résultats supérieurs de modification de surface avec une grande efficacité et répétabilité.
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