Occasion DNS / DAINIPPON / SCREEN SPW-813 #9402412 à vendre en France
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Vendu
ID: 9402412
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Wet etcher, 8"
Controller
Does not include:
PC
Monitor
Robot
2004 vintage.
DNS/DAINIPPON/SCREEN SPW-813 est un graveur/asher haute performance conçu et fabriqué par la coentreprise de DNS, SCREEN et DAINIPPON. Il s'agit d'un appareil compact et fiable alimenté par un équipement SMIF Pod commandé par PC. L'etcher est utilisé pour des processus tels que l'enlèvement de matériaux, PECVD, et le cendrage diélectrique. DNS SPW-813 est un graveur vertical et cendrier de 8 pouces de diamètre 200 mm. Il dispose d'une distance source-outil optimale de 500 mm, avec un temps de processus réglable de 0-60 secondes. Il est équipé de deux chambres de procédés, chacune ayant une fonction distincte. La première chambre est utilisée pour la gravure ionique réactive (RIE), la gravure isotrope et le traitement plasma aval. L'autre chambre est pour la cendre diélectrique, avec la capacité de gérer soit une recette de processus complet ou commande manuelle. SCREEN SPW 813 offre une grande variété de gaz de procédé et de produits chimiques, et est capable d'effectuer une répétabilité élevée et des rendements élevés. Il est équipé d'un système de confinement de chambre intelligente, qui permet à la fois le traitement par lots et en ligne des plaquettes. La combinaison d'un fonctionnement entièrement automatisé, d'une interface graphique intuitive, d'un contrôle avancé des processus et d'un fonctionnement fiable en fait un excellent choix pour la production. La combinaison de fiabilité et de performance le rend adapté à la production en grand volume de divers produits semi-conducteurs. SPW-813 est facile à utiliser et à entretenir. Il dispose d'une interface utilisateur conviviale et d'un moniteur intégré qui fournit une rétroaction en temps réel pendant les processus de gravure et d'asher. L'unité de surveillance fournit également des informations comme la durée du processus, le taux de changement de température et la distance entre la source et la cible. Il est également livré avec une variété de diagnostics de fonctionnement, comme les alarmes de processus et les avertissements, pour aider à assurer des rendements élevés et la fiabilité. SPW 813 est un dispositif respectueux de l'environnement. Il a une cote Energy Star, et utilise sa machine SMIF Pod pour réduire la consommation d'énergie globale. L'appareil est également conforme au RoHS, ne produisant aucune matière dangereuse pour l'environnement. Il possède la capacité d'extraire complètement les gaz de l'outil et de réduire au minimum la production de particules. DAINIPPON SPW-813 est un graveur et asher puissant et fiable fabriqué pour répondre aux attentes élevées de l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de fournir des processus de gravure haute performance et asher avec des résultats reproductibles et des rendements élevés. Son outil avancé de contrôle des processus et son interface utilisateur conviviale permettent une production de haute qualité constante de divers produits semi-conducteurs.
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