Occasion DNS / DAINIPPON SP-W813-AS #9107314 à vendre en France
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DNS/DAINIPPON SP-W813-AS est un graveur et asher conçu pour la ligne de production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il s'agit d'un appareil de gravure directe par faisceau d'ions et de cendrage qui peut être utilisé dans un large éventail de procédés d'appareil, tels que l'oxydation, la gravure et le placage. Ce système utilise la technologie de gravure et de cendrage la plus avancée disponible pour créer des couches de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il permet un dépôt très précis et uniforme en éliminant les zones mortes et en minimisant les changements dans les couches gravées et cendrées. Cette unité utilise la technologie de dépôt chimique en phase vapeur (LCVD) induite par laser, un robot parallèle à 4 axes et un robot miniature de haute précision, ce qui permet une gravure et un cendrage très précis des couches de l'appareil. Il dispose également d'une machine d'imagerie 3D unique pour l'imagerie critique dans l'espace tridimensionnel. Cet outil permet de focaliser avec précision le faisceau d'ions directs et de le scanner pour la récupération des données et le contrôle de la rétroaction du processus. De plus, cet actif utilise une technologie de contrôle de la température de haute qualité pour assurer une gravure et un cendrage de haute précision. DNS SPW-813AS est un modèle très efficace qui utilise la technologie avancée de commande de mouvement pour contrôler le mouvement des pièces bidimensionnelles dans le même espace X-Y-Z. Cet équipement intègre également la vision des machines pour la détection et l'inspection automatisées des pièces. Le système DAINIPPON SPW813-AS est conçu pour une performance et une flexibilité uniformes. Il dispose d'une base de données étendue de paramètres qui peuvent être mis en place pour différents processus, de la gravure de plaquettes à l'ashing de cartes de circuits intégrés. En outre, cette unité est adaptée à diverses conditions de traitement, allant de l'oxygène faiblement ionisé au plasma d'azote dans différents environnements de pression. Dans l'ensemble, DAINIPPON SPW-813-AS est une machine de gravure et de cueillette puissante qui facilite la création de couches de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité. Il utilise la technologie de gravure et d'ashing la plus avancée disponible pour fournir des résultats inégalés. Il est spécialement conçu pour la ligne de production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.
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