Occasion DNS / DAINIPPON SPW-813A #293642853 à vendre en France

DNS / DAINIPPON SPW-813A
ID: 293642853
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Spin etcher, 8" 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SPW-813A est un graveur avancé capable de traiter des structures enterrées, des substrats plats et des dispositifs compliqués en trois dimensions. Cette technologie de gravure de pointe peut atteindre des résolutions allant jusqu'à 1,8 µm. DNS SP-W813-A est capable de graver de nombreux substrats, dont des substrats de silicium, du tungstène, des polyimides et des polymères. Il convient également pour une utilisation à un ou plusieurs vols sur une large gamme de substrats semi-conducteurs. Ce graveur avancé utilise la méthode des bandes sèches pour décaper précisément tout revêtement pouvant être présent sur le substrat. DAINIPPON SPW-813-A est capable de graver des structures tridimensionnelles complexes qui sont médicalement pertinentes. Cela permet un grand nombre d'applications, de la production de capteurs sonores à la production de capteurs de vibrations. La largeur et la profondeur minimales de ligne qui peuvent être atteintes dépendent du type de résistance utilisé, avec une largeur de ligne standard de 1,9 µm et une profondeur de ligne de 0,15 µm. DAINIPPON SPW-813A est équipé de l'équipement de chargement et de déchargement automatique le plus récent et peut traiter jusqu'à 60 plaquettes par heure. Cela fournit des capacités de gravure à haut débit et le rend idéal pour des exigences de production de volume élevé. SP-W813-A utilise un système de distribution de gaz spécialement conçu pour assurer un flux régulier et uniforme de gaz réactif pendant les opérations de gravure. Cette chambre utilise une conception de chauffage planaire multi-zones avec une unité de chauffage unique avec des niveaux de température et de pression réglables. Le filtre de type HEPA installé sur la chambre assure la propreté de l'ensemble du procédé. Cet etcher avancé est autonome avec un système de vide intégré qui peut gérer le vide de 10-6 Torr (760 millibar). La chambre de procédé est activée avec un temps de cycle entièrement automatisé, vingt-quatre étapes, fournissant une gravure fiable et répétable de tous les matériaux. SPW-813A est un excellent choix pour les applications de gravure pour l'industrie des dispositifs médicaux, l'électronique grand public et les applications de semi-conducteurs. Le procédé de gravure à bande sèche combiné à des capacités de gravure à haut débit fournit un moyen fiable et efficace de créer des structures tridimensionnelles complexes et minuscules.
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