Occasion DNS / DAINIPPON SPW-813A #9256956 à vendre en France

DNS / DAINIPPON SPW-813A
ID: 9256956
Taille de la plaquette: 8"
Spin etcher, 8".
DNS/DAINIPPON SPW-813A est un équipement de graveur/asher utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Ce dispositif offre des résultats supérieurs lorsqu'il est utilisé pour la gravure, la gravure anisotrope, la gravure plasma, la gravure ionique réactive et le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD). Il est conçu pour fonctionner avec quatre chambres, permettant aux utilisateurs de changer de processus de gravure rapidement et efficacement. DNS SP-W813-A est équipé de chambres d'introduction multi-gaz, permettant aux utilisateurs de choisir le gaz de procédé approprié en fonction du matériau gravé. La chambre est équipée de quatre régulateurs de débit massique et de deux éléments chauffants, permettant aux utilisateurs de réguler les débits de gaz et la température. De plus, DAINIPPON SPW-813-A dispose d'une pompe pilotée par ordinateur, ce qui permet une synchronisation et une pression précises pour une variété de processus de gravure. DNS/DAINIPPON SPW-813-A est également un système efficace pour la gravure anisotrope, avec un contrôleur de fréquence de résonance double quartz intégré pour le contrôle de haute précision du processus de gravure. Cette unité permet également un contrôle précis de la puissance de gravure grâce à une alimentation commandée par ordinateur. La conception unique de DAINIPPON SP-W813-A comprend un espaceur séparant les plaques de quartz supérieures et inférieures, permettant une gravure uniforme avec une érosion minimale. DNS/DAINIPPON SP-W813-A est également équipé d'un choix de cinq procédés de gravure plasma différents, ce qui le rend idéal pour les tissus nécessitant à la fois une haute sélectivité et un débit élevé. Ces procédés sont la gravure par plasma avec implantation ionique, la gravure sèche par ionisation pure, la gravure sèche par mélange gazeux ionisé, la gravure humide avec mélange gazeux modifié et stable, et la gravure plasma de 15 volts. DAINIPPON SPW-813A dispose également d'une gravure de phase contrôlée par ordinateur, qui contrôle la phase du champ électromagnétique pour augmenter l'efficacité et l'uniformité du processus. Enfin, le DNS SPW-813-A est très adaptable pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD). Cette machine de pointe est équipée d'une alimentation RF et DC intégrée, permettant aux utilisateurs de basculer rapidement entre les deux et de personnaliser le processus de dépôt. En outre, le DNS SPW-813A est compatible avec une variété de gaz, permettant une sélection précise du rapport et de la pression des gaz de dépôt. DNS SP-813A est un outil de graveur/asher haut de gamme pour la fabrication de semi-conducteurs capable de gravure de précision, de gravure anisotrope, de gravure plasma, de gravure ionique réactive et de procédés PECVD. Ses chambres d'introduction multi-gaz réglables, son régulateur de fréquence de résonance double quartz intégré et son choix de cinq procédés de gravure plasma en font un outil de gravure polyvalent et efficace. En outre, son alimentation électrique contrôlée par ordinateur et le choix des gaz de dépôt donnent aux utilisateurs une grande maîtrise du processus de dépôt.
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