Occasion DNS / DAINIPPON SPW-813AS #293807383 à vendre en France

ID: 293807383
Spin etcher.
DNS/DAINIPPON SPW-813AS est un équipement de graveur/asher plasma très avancé qui est conçu pour le traitement précis et efficace de divers matériaux dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet outil est largement utilisé dans les environnements de recherche et de production pour des applications telles que le décapage de photorésistance, le descum, le nettoyage du plasma et la gravure de matériaux organiques et inorganiques sur des plaquettes et des substrats. Le DNS SPW-813AS utilise un plasma haute densité pour éliminer les matériaux indésirables de la surface du substrat par un procédé connu sous le nom de gravure sèche. Cette technique est préférée dans la fabrication de semi-conducteurs car elle offre une sélectivité, une homogénéité et un contrôle élevés du procédé de gravure par rapport aux procédés de gravure par voie humide. Le système est équipé de fonctionnalités et de capacités avancées qui permettent aux utilisateurs d'obtenir des résultats précis et reproductibles pour un large éventail d'applications. Une des caractéristiques clés de DAINIPPON SP-W813-AS est son unité avancée de génération de plasma RF, qui fournit des performances plasmatiques fiables et stables pour des résultats de gravure/ashing cohérents. La machine est équipée de plusieurs conduites d'entrée de gaz et de régulateurs de débit massique pour permettre un contrôle précis des paramètres du processus, tels que les débits de gaz, la pression et la composition. Cela permet aux utilisateurs d'adapter le processus de gravure à leurs besoins spécifiques et d'atteindre les taux de gravure et la sélectivité souhaités. DAINIPPON SPW-813AS est également équipé d'un outil de mandrin à grande vitesse qui assure une répartition uniforme du plasma sur la surface du substrat. Cette caractéristique est essentielle pour obtenir des vitesses de gravure et une profondeur de gravure uniformes à travers la plaquette, ce qui est essentiel pour assurer la performance et le rendement du dispositif dans la fabrication des semi-conducteurs. L'actif comprend également des capacités de contrôle de la température pour optimiser la performance du processus pour différents types de matériaux et d'applications. De plus, DNS/DAINIPPON SP-W813-AS dispose d'une interface conviviale qui permet une programmation et un contrôle faciles des paramètres du processus. Le modèle est équipé d'un écran tactile qui permet de surveiller en temps réel les paramètres clés du processus, tels que la puissance du plasma, les débits de gaz, la température et la pression. Les utilisateurs peuvent également stocker et récupérer des recettes de processus pour la répétabilité facile et l'optimisation des processus. DNS SP-W813-AS est conçu avec la sécurité et la fiabilité en tête, avec un équipement d'interception qui assure le bon fonctionnement et prévient les accidents. Le système est également équipé d'outils de diagnostic et d'entretien intégrés pour faciliter le dépannage de l'unité et réduire les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, SPW-813AS est une machine de graveur/asher à plasma polyvalente et fiable qui offre des capacités avancées pour les fabricants de semi-conducteurs et les chercheurs à la recherche d'un traitement précis et efficace des matériaux.
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