Occasion DRYTEK 384T #9083713 à vendre en France

DRYTEK 384T est un graveur/asher conçu pour être utilisé dans les applications les plus exigeantes de microélectronique et de traitement de matériaux en couches minces. Il est conçu pour la gravure ionique réactive et les procédés de gravure et d'ashing assistés par plasma, et est utilisé dans un large éventail d'industries, y compris les semi-conducteurs, biomédicaux, pharmaceutiques et de communications. 384T a une chambre de 24 x 24 pouces (610 x 610 mm) avec une taille maximale de plaquette de 4 pouces (100 mm) de diamètre. La chambre à vide est faite de l'acier inoxydable de haute qualité et équipée avec un système de contrôle du gaz O2/N2 ultra-bas. Ce système permet un contrôle précis des recettes de processus grâce à un écran tactile. DRYTEK 384T peut atteindre des températures allant de la température ambiante à 1000 ° C, avec des pressions de base de 0,5 mtorr. Il dispose également d'une source de puissance radio-fréquence à haute fréquence réglable pour la gravure et la cueillette de plasma. 384T a une grande variété d'accessoires disponibles pour la configuration d'application personnalisée. Il s'agit notamment des systèmes d'obturation, des systèmes de transport et des chariots à réaction. Les systèmes de transport fournissent une solution complète de transport des plaquettes, y compris la préparation et le fonctionnement des échantillons avec des bras robotiques interchangeables. Les chariots de réaction permettent de personnaliser le système avec des thermocouples, des régulateurs de température et une variété d'autres éléments chauffants. DRYTEK 384T etcher/asher est conçu pour la fiabilité et la facilité d'utilisation, avec des systèmes de sécurité et de diagnostic. Ces systèmes fournissent un suivi et une rétroaction des processus en temps réel pour optimiser le rendement des processus. La source intégrée de faisceau d'ions permet une gravure et un ashing améliorés par UV pour obtenir une haute sélectivité et de faibles dommages résiduels. De plus, la rotation de la plaquette est capable de vitesses allant jusqu'à 50 000 tr/min, ce qui permet un contrôle précis de l'uniformité et de l'uniformité. 384T convient à un large éventail d'applications de gravure et de cendrage, y compris les gravures à haute densité de plasma, le cendrage à haut débit, les gravures sélectives, la gravure ionique réactive (RIE) et le processus de résistance des plaquettes. Sa conception robuste, ainsi que ses contrôles fiables et ses caractéristiques de propreté, offrent une excellente stabilité et répétabilité des processus. En outre, il offre un rapport coût-efficacité à long terme et des avantages de maintenance. DRYTEK 384T est conçu pour les exigences de traitement des matériaux les plus complexes, ce qui en fait la solution idéale pour toute application de gravure ou d'ashing.