Occasion DSS Gemini 820 #9156790 à vendre en France

DSS Gemini 820 est un graveur/asher conçu pour les applications de gravure à sec dans l'industrie des semi-conducteurs. Il offre une large gamme de capacités de gravure, ce qui en fait un choix idéal pour le développement de processus et les applications de production. Gemini 820 dispose d'une variété de chambres de traitement, y compris : trois chambres de réaction terminale, trois chambres d'éclairage incident, deux chambres clivées, deux capteurs de point d'extrémité hyperfréquence, et deux volumes morts de gaz. Il dispose également d'une chambre de mélange à ultrasons pour une gravure uniforme et d'une chambre BioSpray pour les revêtements résistifs. Le DSS Gemini 820 améliore la précision et l'uniformité des processus grâce à ses mécanismes logiciels. Il est conçu pour atteindre rapidement et avec précision le modèle désiré. Les mécanismes logiciels permettent également de détecter les points d'extrémité des gravures avec une précision ± 7 % et une précision de 1,5 nanoseconde. De plus, DSS Gemini 830 dispose d'un moniteur de faible niveau d'oxygène pour la surveillance en temps réel des conditions ambiantes dans la chambre de procédé. Cette caractéristique garantit le maintien de la qualité de la gravure et élimine la nécessité d'une surveillance manuelle de l'ambiance. Le DSS Gemini 830 assure un contrôle et un contrôle maximaux des fluides de procédé tels que Argon, XeF2, CHF3 et CF4. Il dispose également de deux clapets piézo indépendants pour contrôler soigneusement les pressions de la chambre. Le processus peut être démarré manuellement ou avec des paramètres de recette prédéfinis. Des contrôleurs à plasma séparés permettent un contrôle indépendant de chaque chambre. DSS Gemini 830 intègre une variété de dispositifs de sécurité, y compris l'arrêt automatique de la chambre si une situation d'urgence est détectée. Il dispose également d'un design modulaire pour une installation et un entretien faciles. Son logiciel PC avancé fournit un contrôle de machine facile à utiliser, la configuration, la surveillance et l'enregistrement des données. Dans l'ensemble, le DSS Gemini 830 offre de nombreux avantages pour le processus de gravure, allant de l'amélioration de la précision et de l'uniformité aux fonctions de contrôle et de sécurité améliorées. C'est un choix idéal pour le développement de processus et les applications de production, et fournit un ensemble complet de capacités pour la gravure à sec.