Occasion E&R Plasmax 602A #9217454 à vendre en France

E&R Plasmax 602A est un graveur et asher utilisé dans l'industrie du traitement des semi-conducteurs pour le dépôt et la gravure de matériaux en couches minces. Cet outil de qualité industrielle utilise une source de plasma coaxial pour obtenir des résultats reproductibles de haute qualité. L'équipement est doté d'une technologie de résonance électronique-cyclotron (ECR) basée sur une source de plasma à double guide d'onde coaxial à couplage inductif qui permet de contrôler avec souplesse les exigences de puissance pour répondre aux besoins des produits. En outre, les écrans ECR provoquent une interférence électrique minimale avec les outils voisins, tout en offrant un excellent contrôle de la température et une efficacité qui permet des résultats de processus fiables. Le système à base de sources ECR permet une fonction desmear assistée par plasma pour éliminer les résidus de résistance de la surface du substrat. L'outil est également doté de la conception « Cr-Blocker Plate », qui empêche la libération de particules contenant du Cr dans la chambre de processus afin qu'aucune contamination supplémentaire de l'environnement ne se produise. L'élimination chimique de l'oxyde peut également être réalisée avec cet outil et une variété de produits chimiques sont utilisés selon le type d'oxyde qui doit être éliminé. Pour le contrôle de la vitesse de gravure, Plasmax 602A est équipé d'une combinaison de technologies de balayage de fréquence RF et de magnétron polarisé axial pour générer une large gamme de niveaux de puissance précis pour la gravure de différents matériaux. De plus, les contrôles intégrés en boucle fermée assurent la précision et la répétabilité du processus. L'unité est capable de traiter des plaquettes de 200mm avec une capacité d'étendre le traitement à 300mm de plaquettes dans le futur. Cet outil dispose également d'une machine de distribution de gaz de procédé avec buller à double ventilateur et contrôle thermique asymétrique de la douche, assurant un débit de gaz uniforme, ainsi qu'une pression de gaz fiable et la stabilité de la température qui permet des processus de gravure plus uniformes. E&R Plasmax 602A convient à divers procédés de gravure d'oxyde et de desmear pour des produits de haute précision et à haut rendement. Cet outil est connu pour sa fiabilité, sa précision et son rapport coût-efficacité qui contribuent à maximiser les rendements de production dans les industries de traitement des semi-conducteurs.