Occasion ESC ELAS #9156747 à vendre en France
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ID: 9156747
Taille de la plaquette: 4"-8"
PVD System, 4"-8"
Sputter down cassette to cassette
Standard BROOKS Robot system
CTI Cryo pump main chamber, 10"
CTI Cryo load lock, 8"
Turbo pump / Rotary pump
ADVANCED ENERGY Pinnacle DC MAGNETRON Power supply
ADVANCED ENERGY RFPP RF20S Power supply
Techware II Ultra (3) Targets plus RF etch station: 20.25" x 4.75"
Dual level load lock
Bulkhead mounting maximum substrate size (Through-wall):
Large area substrates: Up to 16" x 16"
MRC 943 PVD System
Batch size:
(4) Wafers, 8"
(6) Wafers, 6".
L'ESC ELAS (abrégé pour Electrostatic-Lithographic-Asher) est une machine de gravure et de cendrage avancée développée par Esterline Corporation. ELAS est conçu pour fournir des résultats fiables et reproductibles, pour des applications de prototypage et de production à haut volume. L'ESC ELAS est un équipement de gravure et de cueillette modulaire, composé de trois unités connectées : l'iMix, l'iControl et l'iX-max. L'iMix fournit la chimie nécessaire pour la gravure et l'ashing, tandis que l'iControl est un contrôleur pour les processus de gravure et d'ashing, permettant un contrôle précis du processus, et l'acquisition de données. L'iX-max est un système de contrôle de mouvement x-axis de haute précision qui aide à automatiser le processus de gravure. ELAS utilise la technologie de lithographie électrostatique. Ce type de lithographie utilise une solution de gravure qui, lorsqu'elle est exposée à un substrat préalablement modelé, élimine un matériau inutile, ne laissant que la caractéristique souhaitée gravée sur la surface. Il en résulte une gravure plus précise que ne le permettent les procédés traditionnels de gravure par voie humide. L'ESC ELAS est capable de graver et d'aspirer divers matériaux, dont le cuivre et d'autres métaux, ainsi que des diélectriques et des semi-conducteurs. ELAS offre une excellente résolution et une excellente définition des caractéristiques de niveau micron, en fonction du substrat et de la chimie utilisés. C'est également une machine très flexible, permettant une gamme de processus de gravure et d'ashing qui peuvent être adaptés aux besoins exacts de l'utilisateur. L'unité ELAS de l'ESC comprend une machine de métrologie intégrée qui assure à la fois l'inspection et la surveillance du substrat avant, pendant et après la gravure et le cendrage. Le module de métrologie intégré permet des balayages rapides répétés de la plaquette pour la mesure sans contact et non destructive. En outre, ELAS est conçu pour être convivial, permettant aux opérateurs de manipuler les paramètres de processus à partir d'un écran tactile ou d'un ordinateur distant à l'aide d'une interface graphique intuitive. Dans l'ensemble, l'ESC ELAS est une machine de gravure/cueillette fiable et efficace conçue pour fournir des résultats très précis et précis. C'est une machine polyvalente équipée de technologies de pointe et de métrologie intégrée, idéale pour les applications de prototypage et de production à haut volume.
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