Occasion EUROPLASMA CD1000 Nanofics #9311808 à vendre en France

EUROPLASMA CD1000 Nanofics est un système de gravure et d'ashing à sec spécialement conçu pour les applications de micromachinage à semi-conducteur. Il combine l'air de haute précision et le plasma de gaz réactif dans une unité pour obtenir un profil de gravure ultra-fin et uniforme avec un contrôle des caractéristiques serré. CD1000 Nanofics est équipé d'un régulateur de débit massique à double niveau qui permet une gravure et un réglage précis et automatisé de la vitesse de cendrage et de la pression. Cela permet d'améliorer la répétabilité du procédé et d'obtenir un profil de gravure/cendres plus précis. Il est également équipé d'un générateur RF basse pression qui permet au système d'atteindre des densités plasmatiques et des énergies ioniques plus élevées à des pressions plus faibles. Cela lui permet de graver des matériaux à très basse température pour minimiser les dommages thermiques et obtenir un résultat de gravure plus uniforme. EUROPLASMA CD1000 Nanofics est une plateforme open source permettant aux utilisateurs de personnaliser et de programmer leurs propres processus plasmatiques. Il est conçu pour une grande variété de matériaux, y compris Si, SiO2, SiN, SiC, GaN, et diélectrique organique. Il peut graver ou cendrer jusqu'à une épaisseur de 10nm ou moins, avec des tailles de caractéristiques aussi petites que 50nm. Il est capable de graver et d'aspirer à la fois à des pressions atmosphériques et à des pressions réduites, et peut atteindre des températures aussi basses que -60 ° C Il dispose également d'un support de substrat in situ automatisé pour la gravure de fonctions de moins de 100nm. Le support réduit la micro-charge et permet des fonctionnalités plus reproductibles et précises. Dans l'ensemble, CD1000 Nanofics est un système avancé de gravure et d'ashing conçu pour une micromachination rapide et précise de divers matériaux. Sa combinaison de basse température, de technologie plasma basse pression, de faibles dommages thermiques et de répétabilité a révolutionné les applications de gravure et de cendrage des semi-conducteurs.