Occasion EUROPLASMA CD300 PLC #9409746 à vendre en France

EUROPLASMA CD300 PLC est un équipement de graveur/asher à plasma conçu pour des applications avancées de traitement du plasma dans les secteurs des semi-conducteurs, de l'optoélectronique, du MEMS et des cellules solaires. Ce système dispose d'une interface tactile intuitive pour optimiser les paramètres du processus, des fonctionnalités de sécurité améliorées, et une unité à fente unique brevetée pour le chargement et le déchargement automatique de divers types de substrats. CD300 PLC a une grande chambre à plasma (915 mm x 690 mm x 795 mm) avec deux ports latéraux qui peuvent être utilisés pour le transport d'échantillons et la surveillance à distance du plasma. EUROPLASMA CD300 PLC est une machine de gravure/cueillette de plasma à haute puissance, à fréquence radio (RF), capable de traiter des substrats jusqu'à 300mm de diamètre. Cet outil utilise des réactions chimiques à basse température très efficaces qui permettent une gravure et un cendrage chimiques précis et reproductibles. La pression du processus et la puissance RF sont réglables dynamiquement et peuvent être réglés pour des applications spécifiques. CD300 PLC dispose également d'un outil automatisé de contrôle de la qualité qui surveille chaque processus de traitement du plasma. Les paramètres du processus, y compris la température du substrat, le temps du processus, la densité du plasma et la composition chimique, peuvent être contrôlés en temps réel et surveillés dans un fichier journal pour référence future. Le modèle comprend également un chargeur d'échantillons automatisé propriétaire qui peut s'intégrer à un équipement de transport robotique pour faciliter l'automatisation complète du processus. Le processus de gravure/cueillette est effectué dans un environnement complètement scellé et tous les gaz de procédé sont surveillés et maintenus à des concentrations optimales. En plus de la gravure et de la cendre plasmatiques à haut rendement, EUROPLASMA CD300 PLC peut être utilisé pour le nettoyage des surfaces plasmatiques, la passivation et les processus de dépôt. Les caractéristiques de sécurité comprennent une zone complète intercalaire avec protection contre la foudre et protection contre la contamination des procédés et les dangers pour le personnel. En outre, le système est équipé d'une unité d'analyse des gaz résiduaires à haut rendement et d'une machine de surveillance des processus qui permettent de repérer les fluctuations des processus. Dans l'ensemble, CD300 PLC est un outil puissant de gravure/cueillette de plasma qui fournit un contrôle de précision et de reproductibilité pour les procédés avancés de traitement du plasma. La grande taille de la chambre, le chargement automatisé des échantillons, les caractéristiques de sécurité et la surveillance à distance en font un choix idéal pour divers traitements plasmatiques.