Occasion GASONICS Aura 1000 #293594312 à vendre en France

GASONICS Aura 1000 est un graveur/asher plasma robuste et performant utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour les processus de gravure et de cueillette. Cet outil avancé offre un contrôle précis des paramètres plasmatiques pour obtenir une gravure précise et uniforme sur une variété de matériaux, ce qui en fait un composant essentiel dans la fabrication de dispositifs microélectroniques. L'une des principales caractéristiques de l'Aura 1000 est son fonctionnement en mode double, permettant de réaliser les processus de gravure et de cueillette en un seul outil. Cette polyvalence permet aux fabricants de semi-conducteurs de rationaliser leurs processus de production et d'optimiser leur utilisation des équipements. L'outil est équipé d'une source de puissance haute fréquence qui génère une décharge de plasma dans la chambre de procédé, facilitant l'évacuation du matériau de la surface du substrat. GASONICS Aura 1000 utilise une gamme de produits chimiques à base de gaz, y compris des gaz à base de chlore, de fluor et d'oxygène, pour atteindre des exigences spécifiques de gravure et d'ashing pour différents types de matériaux. L'équipement de contrôle du débit de gaz assure une régulation précise de la composition du gaz et des débits, permettant des conditions de processus optimales et des vitesses de gravure uniformes sur la plaquette. Le système dispose également d'une unité de détection d'endpoint avancée qui surveille l'avancement du processus de gravure en temps réel. Cela permet un contrôle précis de la profondeur de gravure et de la précision du point d'extrémité, empêchant la surgravure et assurant la cohérence des résultats du processus d'un lot à l'autre. De plus, Aura 1000 est équipé d'une machine de contrôle de la température pour maintenir le substrat à une température constante pendant le traitement, améliorant la stabilité et la répétabilité du processus. La conception de chambre de GASONICS Aura 1000 est optimisée pour le traitement à haut débit, avec une grande surface de processus qui accueille plusieurs plaquettes simultanément. L'outil est équipé d'un outil de manutention robotique des plaquettes qui automatise le chargement et le déchargement des plaquettes, augmentant la productivité et réduisant le risque de dommages aux plaquettes. L'outil comprend également des dispositifs de sécurité avancés, tels que des embouts et des épurateurs à gaz, pour assurer la sécurité des opérateurs et maintenir un environnement de travail propre. De plus, Aura 1000 est supporté par une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de surveiller facilement les processus de gravure et d'ashing. L'interface logicielle intuitive fournit des fonctions de rétroaction et d'enregistrement des données en temps réel, permettant aux utilisateurs de suivre et d'optimiser les paramètres de processus pour améliorer la productivité et le rendement. L'outil est également équipé d'outils de diagnostic et de capacités de surveillance à distance, facilitant la maintenance proactive et le dépannage afin de minimiser les temps d'arrêt de l'équipement. En conclusion, GASONICS Aura 1000 est un graveur/asher à plasma polyvalent et fiable qui offre une gamme de fonctionnalités avancées pour la fabrication précise et efficace de semi-conducteurs. Grâce à son fonctionnement bi-mode, à ses capacités avancées de manutention des gaz, à son modèle de détection d'extrémité et à sa conception de chambres à haut débit, Aura 1000 est un outil précieux pour réaliser des processus de gravure et de cueillette de haute qualité dans la fabrication de semi-conducteurs.