Occasion GASONICS Aura 1000 #293690392 à vendre en France

GASONICS Aura 1000 est un graveur et asher sophistiqué conçu pour les processus les plus exigeants, avec des caractéristiques allant du traitement des plaquettes de 100mm au traitement des plaquettes de 400mm. Ce graveur et cendrier sophistiqué permet une gravure plasma haute performance et des résultats de processus de cendrage avec des dommages d'échantillon minimes. Ce système dispose de deux chambres sources, permettant aux utilisateurs de configurer l'outil avec jusqu'à trois chambres et une chambre de cendrage en option. Chaque chambre de source abrite deux sources de gaz distinctes et indépendantes, avec un large éventail d'options disponibles pour satisfaire aux exigences précises du processus. Le système est contrôlé par le contrôleur intuitif du logiciel WIN TESS pour assurer un contrôle précis du processus. Le contrôle fiable et précis de la température du substrat et de la température de l'étage est maintenu à tout moment, donnant des résultats cohérents et reproductibles. Le système offre une capacité avancée de contrôle du processus avec le biais de gravure, le niveau de vide, le débit, le débit de gaine, et la pression étant contrôlables grâce à l'étalonnage précis des sources de gaz embarquées. Aura 1000 comprend également une Chambre optionnelle incorporant une Unité à Membrane Retainable (RMA) qui améliore l'uniformité des tranches dans les processus de gravure et de cendrage. La technologie RMA brevetée offre des rendements beaucoup plus élevés dans certaines applications. GASONICS Aura 1000 est conçu pour fournir une tolérance de défaut en surveillant et affichant des paramètres de processus utiles en temps réel, tels que la pression du gaz, le débit, la température et les niveaux de vide. Cela permet aux utilisateurs d'augmenter le rendement et d'obtenir des performances cohérentes avec un risque minimal de dommages. Le panneau d'affichage intuitif de l'opérateur de la machine fournit l'information d'un coup d'œil nécessaire pour identifier, comprendre et résoudre tout problème. Aura 1000 est conçu pour réduire les temps de cycle tout en offrant une uniformité et des performances de gravure supérieures. Avec un support inégalé de GASONICS et des processus de gravure et de cueillette de plasma de premier plan, les utilisateurs sont toujours assurés d'un retournement rapide.