Occasion GASONICS Aura 1000 #293746361 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher haute précision et haute performance conçu pour une variété d'applications avancées de dispositifs semi-conducteurs. La polyvalence GASONICS Aura 1000 peut être configurée pour toute une gamme de procédés, y compris le dépôt et la gravure en couches minces, le dépôt et la gravure diélectriques, la gravure des pulvérisateurs métalliques, le traitement en fin de ligne et la formation et la singulation des emballages. Le graveur/asher dispose d'un équipement Pulsed-HVBO (High Voltage Bias Oscillation) qui utilise une alimentation en courant continu 380V pour générer rapidement du plasma de haute qualité pour le dépôt de couches minces, la gravure plus rapide et la pulvérisation de meilleure qualité. Cette alimentation haute tension permet une résolution et un contrôle plus fins en matière de gravure et de cendrage, ce qui donne lieu à des processus de production de haute qualité et très efficaces. NOVELLUS Aura 1000 dispose également d'un système de sources céramiques à double source à haute température qui permet de s'assurer que les processus de dépôt et de gravure ont des taux de dépôt et de gravure précis pendant la production. L'unité source de céramique contribue également à réduire les concentrations élevées d'impuretés lors des dépôts en couches minces, ainsi qu'à réduire la production de particules et à améliorer les rendements des procédés. Aura 1000 utilise un régulateur de gaz avancé avec des régulateurs de débit massique et une machine de contrôle de pression avancée pour fournir un débit de gaz précis lors de la gravure en couches minces. La machine est également inégalée en termes de contrôle de qualité et de suivi des processus grâce à son outil AccuPlat (Advanced Accurate Plasma Amplification Technology). AccuPlat mesure une gamme de paramètres, y compris le débit, la tension de l'électrode, la pression statique et la température, permettant aux clients de surveiller avec précision les paramètres du processus et de recevoir une rétroaction immédiate. Cela permet aux clients d'ajuster rapidement et correctement leurs processus et de maintenir un niveau de qualité élevé. En outre, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 dispose également d'un excellent atout d'automatisation des plaquettes pour faciliter le chargement et le déchargement. Le modèle automatisé de manutention des plaquettes dispose d'un équipement de contrôle de mouvement pas à pas, de verrous de charge, d'une zone de rangement, d'un empilement de convoyeurs, de plusieurs dimensions et configurations de cassettes et d'une solution de manutention entièrement automatique basée sur la file d'attente. GASONICS Aura 1000 est un graveur/asher puissant et avancé qui est utilisé dans une variété d'applications de dispositifs semi-conducteurs. Ses diverses caractéristiques telles que le système de sources céramiques, le dépôt à double source, le contrôle des gaz avancé et l'unité AccuPlat en font une machine très efficace et fiable pour obtenir des résultats précis et de haute qualité.