Occasion GASONICS Aura 1000 #293764333 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS A 1000 est un graveur/asher avancé principalement utilisé dans la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher complet qui comprend à la fois des capacités de traitement frontal et des technologies de nettoyage d'angle inversé post-traitement. GASONICS A 1000 dispose d'une source de plasma avancée de 10 zones, assurant une élimination uniforme des excès de rayons, minimisant la contamination des particules et améliorant la reproductibilité des procédés. Les opérations avancées des photomasques de la machine permettent de traiter sans défaut une variété de photomasques, y compris les photomasques BEOL et BEOL/back-end (ULE et BAL). Le graveur peut traiter des plaquettes d'un diamètre allant jusqu'à 200mm, et des tailles de plaquettes allant de 200mm à 6 pouces. Sa fenêtre de gravure unique peut être programmée et optimisée en fonction de paramètres individuels, sans compromettre les performances de la machine. NOVELLUS A1000 peut traiter divers matériaux diélectriques et semi-conducteurs, et sa technologie propre interne au niveau des portes assure des résultats de processus à faible contamination. L'équipement d'échappement avancé assure également une filtration efficace et à long terme de l'air, tout en évitant les rayures. Pour gérer le profil de gravure, la machine est livrée avec une technologie de sélection de balayage qui permet le profilage de différentes plaquettes et substrats pour les tests. Il offre également des motifs de surface 3D pour un contrôle plus précis du profil des caractéristiques gravées. En outre, il dispose d'un système de contrôle de température qui permet la gravure à température contrôlée du matériau du substrat, ainsi que d'une unité de diagnostic propre pour surveiller la forme et le profil de la plaquette, permettant le contrôle de processus en temps réel. Dans l'ensemble, l'A 1000 est un graveur/asher avancé conçu pour répondre aux exigences industrielles les plus élevées. Ses nombreuses fonctionnalités, de ses capacités de processus avancées à sa machine de diagnostic propre de haut niveau, en font un excellent choix pour toute application de gravure ou d'ashing.