Occasion GASONICS Aura 1000 #293766668 à vendre en France

GASONICS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Développé par la société GASONICS, leader de l'industrie, cet outil de pointe intègre une technologie et des fonctionnalités innovantes pour offrir des performances et une fiabilité supérieures dans une gamme d'applications de traitement de semi-conducteurs. Au cœur de l'Aura 1000 se trouvent ses capacités avancées de gravure et de cendrage du plasma, qui permettent l'élimination précise et contrôlée des couches de matériau sur les plaquettes semi-conductrices. Le système utilise une combinaison de chimie du plasma, de contrôle du débit de gaz et de puissance RF pour obtenir des taux de gravure élevés, une uniformité et une sélectivité pour divers matériaux et structures de dispositifs. Cela permet aux fabricants de semi-conducteurs d'obtenir un contrôle critique des dimensions, une excellente fidélité au transfert de motifs et une reproductibilité élevée des processus pour leurs appareils. L'un des points forts de GASONICS Aura 1000 est sa flexibilité de processus polyvalente, permettant aux utilisateurs de personnaliser les recettes de gravure et d'ashing pour répondre aux exigences spécifiques des appareils. L'unité supporte un large éventail de gaz de procédé, tels que l'oxygène, les gaz à base de fluor et d'autres gaz réactifs, ce qui permet d'utiliser un ensemble diversifié de produits chimiques de gravure en fonction des propriétés des matériaux et des objectifs du procédé. En outre, l'outil dispose d'algorithmes avancés de surveillance et de contrôle des processus afin d'assurer la cohérence des performances des processus et l'optimisation des paramètres des processus. En termes de conception matérielle, Aura 1000 est équipé de composants et de sous-systèmes de pointe pour assurer un fonctionnement robuste et un débit élevé. La machine dispose d'une chambre à vide de grande capacité avec un contrôle précis de la température et une distribution uniforme des gaz pour des conditions de traitement optimales. L'outil de distribution de puissance RF de l'outil est conçu pour une production et un contrôle efficaces du plasma, permettant des processus de gravure et d'ashing à grande vitesse avec une uniformité et une répétabilité améliorées. Pour améliorer encore le contrôle des processus et la productivité, GASONICS Aura 1000 est équipé de capacités d'automatisation avancées et d'interfaces conviviales. L'actif dispose d'interfaces logicielles intuitives pour le développement de recettes, la surveillance des processus et l'analyse des données, permettant aux utilisateurs de facilement configurer et exécuter des processus complexes de gravure et d'ashing. En outre, l'outil est conçu pour une intégration transparente dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs, avec une compatibilité avec les systèmes de manutention de plaquettes standard de l'industrie et les logiciels d'automatisation fab. En plus de ses capacités techniques, Aura 1000 est soutenu par un support client complet et des services de GASONICS, assurant une installation, une formation et une maintenance efficaces tout au long du cycle de vie de l'outil. La société offre une vaste expertise de processus et des connaissances d'application pour aider les utilisateurs à optimiser les processus de gravure et d'ashing pour les besoins spécifiques des appareils, permettant finalement aux clients d'obtenir des performances et un rendement supérieurs. Dans l'ensemble, GASONICS Aura 1000 se distingue comme un modèle de graveur/asher à la pointe de la technologie qui offre des performances exceptionnelles, une flexibilité de processus et une productivité pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa technologie plasma de pointe, à ses capacités de traitement polyvalentes et à sa conception conviviale, l'outil est en mesure de répondre aux besoins évolutifs de l'industrie des semi-conducteurs en matière de fabrication et de développement de procédés avancés.