Occasion GASONICS Aura 1000 #293811532 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est une catégorie d'équipements graveurs/cendres utilisés dans la fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs (IC). Ce système Etcher/Asher a été conçu pour effectuer une gravure plasma de précision et un traitement par dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il a une excellente précision pour la gravure et le dépôt des matériaux sur les plaquettes de grandes et petites dimensions. L'unité comporte deux chambres sources indépendantes et une chambre de serrure pour traiter divers dépôts de matériaux. Il dispose d'un étage XYZ de haute précision pour fournir des mouvements linéaires et angulaires précis pour la gravure et le processus CVD. Il a également un entraînement rotatif supplémentaire qui peut faire tourner des plaquettes jusqu'à 300 degrés pour un alignement facile et précis. Le Plasma Etcher/Asher a une chambre de gravure ionique réactive (RIE) qui a une plage de vide de 0,005-25 torr et une plage de pression de 5-1000 mTorr. Il dispose d'une puissante source d'énergie RF pour supporter la gravure plasma haute densité, avec une gamme de puissance allant jusqu'à 75 kW. La vitesse de dépôt est réglable, allant de 0,001 à 1,8 μ m par minute. GASONICS Aura 1000 possède des fonctions avancées de contrôle du plasma, telles que la mise en forme avancée du plasma, la gravure par étapes et la technologie de gravure par fente. Il possède également des caractéristiques avancées de manutention et de sécurité des plaquettes, comme un mécanisme d'alarme pour alerter la machine lorsque les plaquettes ne sont pas correctement sécurisées et une détection RF pour réduire le risque d'arc électrique et d'incendie. NOVELLUS Aura 1000 Etcher/Asher est un outil très fiable pour la fabrication d'IC car il offre une grande précision, flexibilité et répétabilité. L'actif peut être contrôlé grâce à une interface utilisateur graphique (interface graphique), permettant aux opérateurs de contrôler intuitivement les paramètres du processus et de suivre leurs progrès en temps réel. Ce modèle est compatible avec diverses technologies avancées, telles que la mémoire et les dispositifs logiques, les MEM et les écrans.