Occasion GASONICS Aura 1000 #293827649 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS A 1000 est un semiconducteur asher/etcher conçu pour les procédés avancés de gravure et de dépôt du plasma. Il dispose d'une chambre de traitement de grande capacité pouvant accueillir plus de 50 plaquettes dans une cassette standard de 8 pouces et 300 mm. La chambre est pressurisée, ce qui permet une gestion optimale des gaz et une réduction des contaminants de procédé. La machine est également équipée d'un robot capable de gérer des processus complexes, et fournit un mouvement multi-axes avec une grande fiabilité et répétabilité. GASONICS A 1000 est alimenté par un microprocesseur et une logique de commande de pointe, exécutant des processus complexes avec précision. Les données numériques qui régissent le processus sont écrites dans un langage plasma GASONICS (GPL) couramment utilisé qui est adapté à chaque processus. NOVELLUS A1000 dispose également du logiciel NOVELLUS SPC- 1000™, fournissant une interface utilisateur graphique (interface graphique) pour la surveillance et le contrôle du processus. Le RCP- 1000™ permet à l'opérateur de surveiller, contrôler et ajuster les paramètres en temps réel pendant le processus, ainsi que de stocker les recettes, les données et les résultats. Le modèle de base GASONICS/NOVELLUS A1000 est livré avec une source de plasma à couplage inductif et une source de faisceau d'électrons à détection de diode, permettant une pulsation rapide et un dépôt à haut débit avec un contrôle d'uniformité sophistiqué et une qualité de matériau supérieure. Les gaz de procédés propres, y compris les formes d'oxygène et d'azote, permettent le nettoyage, l'oxydation, le dépôt et la gravure des matériaux. La machine comprend également un système de turbopompe composé d'une pompe rotative de tamisage à deux étages et d'une turbopompe à faible entretien. En plus des capacités de gravure et de dépôt standard, l'A 1000 offre également des options pour le nettoyage avant gravure, le nettoyage après gravure, la passivation et le décapage. En combinant les processus de gravure et de dépôt en un seul outil, GASONICS A1000 offre une approche efficace et fiable de la technologie de fabrication des dispositifs. Avec son contrôle de processus sophistiqué et ses nombreuses fonctionnalités performantes, NOVELLUS A 1000 peut fournir des résultats supérieurs et un haut degré de contrôle.