Occasion GASONICS Aura 1000 #293827650 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher couramment utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. C'est un système multi-chambres avec une grande chambre de gravure principale, une chambre de serrure de charge, et une chambre propre. Il contient une source lumineuse ultra-violette et utilise une technique exclusive de gravure par faisceau d'ions pour obtenir des résultats de gravure précis. Il dispose d'un rapport d'aspect élevé capacité de gravure profonde, avec une marge d'erreur étroite et la précision de +/-15nm. Il peut être utilisé pour graver profondément les caractéristiques jusqu'à 2um largeur et 2um profondeur. Il est capable de traiter une variété de matériaux, y compris le silicium, l'aluminium, le cuivre et le tungstène. Le mécanisme de balayage itératif permet une gravure à haut débit des plaquettes. Il est capable de scanner de plus grandes plaquettes avec une seule passe en environ 3 minutes, réduisant le temps et le coût des opérations. Il est également équipé d'un wagon-navette double wafer, permettant d'augmenter les capacités d'entrée et de sortie de wafer. Une interface utilisateur avancée aide les utilisateurs à ajuster des paramètres tels que la pression, la tension et le courant pour obtenir des résultats de gravure optimaux. GASONICS Aura 1000 est connu pour ses méthodes de gravure précises et son excellente répétabilité. Avec son haut niveau de précision, NOVELLUS Aura 1000 est idéal pour le transfert de motifs de haute précision, l'empilage die-on-die, et d'autres types d'applications de gravure complexes. Il est largement utilisé dans les applications semi-conductrices, solaires, automobiles et électroniques grand public. Aura 1000 dispose de nombreuses fonctionnalités avancées pour garantir des résultats de gravure de qualité. Ces caractéristiques comprennent le calibrage et le contrôle en boucle fermée, la protection contre les surtensions à haute tension, les boucliers de protection, le contrôle précis de la température et de la pression et l'alignement automatique des plaquettes. En conclusion, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher avancé conçu avec précision et fiabilité à l'esprit. Il est connu pour son rapport d'aspect élevé capacité de gravure profonde, mécanisme de balayage à haut débit, et de nombreuses fonctionnalités avancées. GASONICS Aura 1000 est un outil polyvalent et fiable qui peut être utilisé dans une variété d'applications différentes.
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