Occasion GASONICS Aura 1000 #9105746 à vendre en France
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ID: 9105746
Taille de la plaquette: 4"-6"
Plasma ashers, 4" - 6"
Option available: Dry pumps
208 V, 50 Hz, 20 A, 3Ph.
GASONICS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour le traitement précis et efficace de divers matériaux dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries de haute technologie. Cet équipement est connu pour ses performances supérieures, sa fiabilité et sa polyvalence, ce qui en fait un outil essentiel pour la recherche et le développement ainsi que pour les environnements de production. Aura 1000 dispose d'une technologie de traitement du plasma de pointe qui lui permet de réaliser un large éventail de processus de gravure et d'ashing avec une précision et une répétabilité exceptionnelles. Le système utilise une combinaison de gaz plasmatiques, de puissance RF et de régulation de la température pour créer des espèces hautement réactives qui interagissent avec la surface du matériau, ce qui entraîne une élimination ou une modification contrôlée du matériau. L'un des points forts de GASONICS Aura 1000 est ses capacités avancées de contrôle des processus. L'unité est équipée d'outils de surveillance et de mesure avancés qui permettent de surveiller en temps réel les paramètres du processus tels que le débit de gaz, la pression, la température, la puissance RF et la densité du plasma. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser les conditions de processus pour une efficacité et une uniformité maximales, ce qui améliore la répétabilité des processus et la qualité des produits. En outre, Aura 1000 offre un haut degré d'automatisation et de personnalisation des processus, permettant aux utilisateurs d'adapter la machine à leurs besoins de traitement spécifiques. L'outil est équipé d'une interface conviviale qui permet une programmation facile des recettes de processus, l'ajustement des paramètres et le suivi des performances du processus. En outre, l'actif peut être intégré avec une variété d'outils logiciels pour l'analyse avancée des données et l'optimisation des processus. En termes de matériel, GASONICS Aura 1000 est construit avec des composants et des matériaux de haute qualité qui garantissent la fiabilité et la stabilité à long terme. Le modèle dispose d'une chambre à vide robuste, d'un générateur RF haute performance, d'un équipement de livraison de gaz de précision et d'une source de plasma avancée qui permettent un traitement à haut débit avec un temps d'arrêt minimal. Aura 1000 est capable de traiter un large éventail de substrats, y compris des plaquettes de silicium, des composés III-V, des céramiques, du verre et des polymères. Le système supporte différents procédés de gravure et d'ashing, tels que le strippage photorésist, la gravure d'oxyde, la gravure métallique, la gravure diélectrique, et plus encore. Avec ses capacités polyvalentes et ses options de processus flexibles, GASONICS Aura 1000 est adapté à un large éventail d'applications dans les secteurs des semi-conducteurs, MEMS, LED et autres industries de haute technologie. Dans l'ensemble, Aura 1000 est une unité de graveur/asher haut de gamme qui offre des performances, une fiabilité et une flexibilité inégalées pour des applications de processus exigeantes. Avec sa technologie de pointe, ses fonctions de contrôle des processus et ses options personnalisables, GASONICS Aura 1000 est un outil précieux pour obtenir des résultats de haute qualité dans le traitement des semi-conducteurs et au-delà.
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