Occasion GASONICS Aura 1000 #9171308 à vendre en France

GASONICS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe intègre une gamme de technologies et de fonctionnalités innovantes pour assurer un traitement précis et efficace des plaquettes dans un environnement de salle blanche. Au cœur de l'Aura 1000 se trouve sa capacité de gravure plasma, qui permet de retirer des couches de matériau de la surface des plaquettes semi-conductrices avec une grande précision. Le système utilise une combinaison de gaz réactifs et d'énergie plasmatique pour graver sélectivement des zones spécifiques de la surface de la plaquette, ce qui permet de créer des motifs et des caractéristiques complexes nécessaires à la fabrication de microélectroniques. GASONICS Aura 1000 est équipé d'une gamme de systèmes de distribution de gaz, y compris des régulateurs de débit massique et des capacités de mélange de gaz, pour assurer un contrôle précis des paramètres du processus de gravure. Ce niveau de précision est essentiel pour obtenir des taux de gravure uniformes et maintenir la répétabilité des processus sur plusieurs plaquettes. Pour augmenter la flexibilité du procédé, Aura 1000 est capable de manipuler une variété de tailles de plaquettes, allant de petits substrats jusqu'à 300mm de plaquettes couramment utilisées dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. L'unité dispose d'un mécanisme polyvalent de manutention des plaquettes, tel qu'un bras robotique ou une chargeuse à cassette, pour faciliter le chargement et le déchargement des plaquettes tout au long de la séquence de traitement. En plus de ses capacités de gravure, GASONICS Aura 1000 fonctionne également comme une machine asher pour l'élimination des résidus post-gravure et le nettoyage de surface. En utilisant une combinaison d'énergie plasmatique et de gaz réactifs, l'outil peut efficacement éliminer les résidus organiques et inorganiques de la surface de la plaquette, en assurant l'intégrité des structures du dispositif et en améliorant la performance globale du dispositif. Aura 1000 intègre des fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus pour optimiser les processus de gravure et d'asher. Les capteurs de surveillance des processus en temps réel, tels que la spectroscopie optique d'émission (OES) et les systèmes de détection des points d'extrémité, fournissent des informations sur les performances des processus et permettent un ajustement dynamique des paramètres de processus pour atteindre les vitesses de gravure et la précision de détection des points d'extrémité souhaitées. Pour garantir le plus haut niveau de sécurité et de fiabilité des procédés, GASONICS Aura 1000 est équipé d'une gamme d'embouts de sécurité, de systèmes de détection de gaz et de mécanismes d'arrêt d'urgence. Ces caractéristiques sont essentielles pour maintenir un environnement de processus contrôlé et prévenir les risques potentiels associés au traitement du plasma. Dans l'ensemble, Aura 1000 représente une solution de pointe pour les applications de gravure et d'asher des semi-conducteurs, offrant des performances de processus inégalées, de la flexibilité et de la fiabilité pour les procédés avancés de fabrication des semi-conducteurs. Avec ses technologies de pointe et son design innovant, GASONICS Aura 1000 est un outil clé pour la production de dispositifs semi-conducteurs de nouvelle génération avec des performances et des fonctionnalités supérieures.