Occasion GASONICS Aura 1000 #9241898 à vendre en France

GASONICS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher de pointe largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour les procédés de gravure et de strippage par plasma dans la fabrication de circuits intégrés. Ce système de pointe intègre une technologie de pointe et des fonctionnalités innovantes pour fournir une haute précision, fiabilité et contrôle des processus pour les applications critiques de fabrication de semi-conducteurs. Aura 1000 dispose d'une conception de chambre polyvalente qui permet une large gamme de capacités de processus, y compris la gravure de divers matériaux tels que le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et les métaux, ainsi que la cendre photorésist. L'unité est équipée de plusieurs conduites de gaz et de régulateurs de débit massique pour contrôler avec précision la chimie du procédé et les débits de gaz, assurant des performances de gravure et de cueillette uniformes et cohérentes sur l'ensemble de la plaquette. L'un des points forts de GASONICS Aura 1000 est sa machine avancée de génération de plasma, qui utilise une source d'énergie RF haute fréquence pour créer un plasma très uniforme et stable dans la chambre de processus. La chimie du plasma joue un rôle critique dans la détermination de la sélectivité de la gravure, de la vitesse de gravure et du contrôle du profil des caractéristiques de la plaquette. L'outil offre des options d'accord personnalisables pour les paramètres du plasma, tels que la puissance, la pression, la composition du gaz et la tension de polarisation, afin d'optimiser les conditions de processus pour des structures et des matériaux de dispositifs spécifiques. En plus de l'actif de production de plasma, Aura 1000 est équipé d'un modèle innovant de distribution de gaz qui assure une livraison efficace et uniforme des gaz de processus à la surface de la plaquette. L'équipement intègre la technologie de tête de douche à gaz, qui permet un contrôle précis des débits de gaz et de la distribution sur la plaquette, ce qui donne des taux de gravure et d'ashing uniformes sur toute la surface de la plaquette. Le système de distribution de gaz facilite également la purge rapide des gaz et les cycles de nettoyage des chambres afin de minimiser les temps d'arrêt des processus et de maximiser le débit. GASONICS Aura 1000 dispose de capacités avancées de détection d'endpoint, qui permettent une surveillance en temps réel du processus de gravure ou de cendres et un contrôle précis de l'endpoint de processus. L'unité utilise la spectroscopie optique d'émission (OES) ou d'autres techniques sophistiquées pour détecter les changements dans les spectres d'émission du plasma ou d'autres paramètres associés à l'achèvement du processus de gravure ou de cendres. Cela permet une détection précise des paramètres et un contrôle des processus, assurant une uniformité de profondeur de gravure optimale et une sélectivité pour les structures critiques des dispositifs. En outre, Aura 1000 intègre une machine complète d'enregistrement des données de processus et de gestion des recettes, qui permet aux utilisateurs de stocker et de récupérer les recettes de processus, de surveiller les paramètres de processus en temps réel, et d'analyser les données historiques pour l'optimisation des processus et le dépannage. L'interface conviviale de l'outil offre un contrôle intuitif et une visualisation des paramètres du processus, des alarmes et des indicateurs d'état, permettant aux opérateurs de facilement configurer et surveiller les processus de gravure ou de cendres avec une formation minimale. Dans l'ensemble, GASONICS Aura 1000 est un atout de haute performance qui offre un contrôle de processus inégalé, précision et fiabilité pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à ses capacités avancées de production de plasma, de distribution de gaz, de détection des points d'extrémité et de gestion des données, le modèle offre des performances de gravure et de décapage supérieures pour la fabrication de circuits intégrés de nouvelle génération.