Occasion GASONICS Aura 1000 #9390033 à vendre en France

GASONICS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement joue un rôle critique dans la fabrication de circuits intégrés en gravant et en retirant des couches de matériau des plaquettes de silicium avec une grande précision et cohérence. Aura 1000 fait partie de la série GASONICS Aura, connue pour sa fiabilité, ses performances et sa flexibilité de processus. GASONICS Aura 1000 utilise des techniques de gravure et de strippage plasma pour enlever des couches de film ou de résine photosensible de la surface de la plaquette. Le système fonctionne sous vide pour maintenir la pureté et le contrôle du processus de gravure. L'équipement dispose d'une construction robuste avec une chambre qui peut traiter différentes tailles de plaquettes, de petites plaquettes de 4 pouces à de plus grandes plaquettes de 8 pouces, permettant des capacités de traitement polyvalentes. Un des composants clés de Aura 1000 est la chambre à plasma, où le processus de gravure a lieu. La chambre est équipée d'alimentations RF qui génèrent du plasma en appliquant de l'énergie haute fréquence au gaz de procédé. Ce plasma est ensuite utilisé pour réagir avec le matériau à la surface de la plaquette, conduisant à la gravure ou au dénudage des couches désirées. L'unité assure un contrôle précis des paramètres plasmatiques tels que le débit de gaz, la pression, les niveaux de puissance et la température pour obtenir des résultats de gravure uniformes et reproductibles. GASONICS Aura 1000 dispose de systèmes avancés de surveillance et de contrôle des processus pour garantir une répétabilité et un rendement élevés. La machine est équipée de capacités de détection en temps réel des paramètres qui permettent de déterminer avec précision les paramètres du processus sur la base de la spectroscopie d'émission optique ou d'autres techniques de surveillance. On s'assure ainsi que le processus de gravure s'arrête au point d'extrémité désiré, en évitant de surgravure ou sous gravure des couches de plaquettes. L'outil comprend également des recettes de processus intelligentes qui peuvent être personnalisées en fonction des exigences spécifiques du matériau à graver. Les utilisateurs peuvent définir des paramètres de processus tels que la vitesse de gravure, la sélectivité, l'uniformité et le contrôle de profil pour obtenir les résultats de gravure souhaités pour différents matériaux et structures. Aura 1000 peut traiter un large éventail de matériaux dont l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le silicium polycristallin, l'aluminium, et plus encore, ce qui en fait un outil polyvalent pour diverses applications de traitement des semi-conducteurs. En plus de ses capacités de gravure, GASONICS Aura 1000 peut également fonctionner comme un asher, utilisé pour décaper la résine photosensible ou d'autres couches organiques de la surface de la plaquette. L'actif peut fonctionner en mode ashing humide ou sec, selon le type de matériau enlevé. Cette flexibilité permet aux fabricants de semi-conducteurs d'effectuer plusieurs étapes de processus dans un même équipement, ce qui réduit le temps et le coût de traitement global. Dans l'ensemble, Aura 1000 est un modèle de pointe de graveur/asher qui offre une grande précision, un contrôle des processus et une polyvalence pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Avec sa technologie plasma de pointe, son contrôle intelligent des processus et ses performances fiables, GASONICS Aura 1000 est un outil précieux pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de gravure de haute qualité et à améliorer leur efficacité de production.