Occasion GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9196372 à vendre en France
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ID: 9196372
Taille de la plaquette: 4"-6"
Plasma asher, 4"-6"
P/N: 15698-02
QUARTZ Chamber
With ENI OEM-12B-06 RF Generator
Power control
BIS 15677-02.
GASONICS/BRANSON/IPC 9104 est un graveur/asher avancé conçu pour maintenir un débit élevé, des rendements élevés et des résultats de haute qualité dans les industries médicales, optiques et autres. Le graveur/asher dispose de jets de liquide à plusieurs sources pour la gravure, le nettoyage et la fonctionnalisation du Si, des métaux, du verre et de nombreux autres substrats. IPC 9104 utilise un équipement de contrôle actif de la température pour fournir la température de procédé optimale et l'uniformité pour la gravure et le cendrage. Ce système permet également des changements rapides de processus et un contrôle précis des processus lors de la gravure et de l'ashing. En outre, ce graveur/asher dispose d'une unité d'agitation vibrasonique numérique avancée qui assure un profil gravure/cendres cohérent et une uniformité et une surface supérieures. Sa machine d'agitation Vibrasonic numérique de pointe aide à éliminer les produits de réaction indésirables et à minimiser les défauts et la variabilité. BRANSON 9104 est également alimenté par une plate-forme PC avancée configurée en NiS/InS analogique. Cette plateforme PC permet la surveillance à distance des processus, le stockage et l'édition des recettes, le contrôle statistique des processus et l'archivage des historiques de processus. De plus, la puissante plateforme NiS/InS permet la personnalisation et l'optimisation des processus sur plusieurs paramètres de processus. 9104 est la solution idéale pour les utilisateurs qui recherchent un débit élevé, des rendements élevés et des résultats de haute qualité des processus de gravure et d'ashing. Grâce à son outil numérique avancé d'agitation Vibrasonic, Active Temperature Control Asset et sa puissante plate-forme PC configurée NiS/InS, cet etcher/asher produit des résultats cohérents aux plus hauts niveaux de performance. En outre, sa conception permet la personnalisation et l'optimisation des processus, et il est facile à utiliser pour les utilisateurs de tous types.
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