Occasion GASONICS / BRANSON / IPC 9104 #9251583 à vendre en France
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ID: 9251583
Taille de la plaquette: 4"-8"
Plasma asher, 4"-8"
(2) Channels
Quartz barrel: 12" x 22" Diameter
Soft pumping and purge valving
(2) Mass flow gas inputs with VCR fittings
Stainless steel plumbing
Temperature monitor: Quartz-coated thermocouple in process chamber
Multi channel / Single board computer controlled with floppy storage
ENI OEM 12B RF Generator: 1250 Watt
13.56 MHz Air cooled with automatic impedance matching network
Display: Touch screen, 21"
For control and monitoring of process parameters
Automatic recipes or manual plasma treatments
Temperature controller
(4) User specified gases with 500 sccm stainless steel MFCs
NEMA-12 Wall mounting enclosure with locking handle
Process pressure: ~120- 2000 mtorr
CE Certified
Power supply: 208-240 Volts, 3Φ, 50/60 Hz, 5 wire.
Cet etcher/asher est une machine de traitement humide automatisé à grande vitesse fabriquée par IPC. Il est capable de graver et d'aspirer divers substrats tels que des plaquettes, des films épais et du silicium. Le système comprend trois zones : une cuve acide/solvant et ambiante, une zone de travail et une zone de four. Le réservoir acide/solvant contient un chariot de panier qui peut contenir jusqu'à quinze plaquettes de 4 "/100mm et fournir un contrôle acide précis pour jusqu'à trois réservoirs distincts. La quantité de solvants et d'acides peut être régulée automatiquement par la machine. Le chariot de panier est retiré du réservoir pour le nettoyage, et les réservoirs peuvent être reconstitués. La zone de travail est le cœur du processus et effectue l'action de gravure ou d'ashing. Un microcontrôleur actionne une tête d'injecteur pour délivrer des acides/solvants au poste de wafer. Le micro-contrôleur contrôle également le contrôleur de puissance SCR, qui fournit une source d'énergie haute fréquence pour activer électroniquement le processus de gravure/cendres. C'est là que la machine brille vraiment, car elle peut effectuer la gravure/cueillette simultanément tandis que toutes les autres conditions de processus sont maintenues constantes. La zone du four aide à sécher les plaquettes après le processus de gravure/cueillette. La chambre du four est construite en acier inoxydable et peut atteindre des températures allant jusqu'à 700 ° C pour le séchage final. La température peut être réglée et contrôlée avec le paramètre temps et température réglables. Dans l'ensemble, GASONICS/BRANSON/IPC 9104 est un graveur/asher précis et précis. Il dispose d'un processus à grande vitesse, ainsi que d'un paramètre temps et température réglables. La machine comprend également une zone de four en acier inoxydable pour assurer le séchage parfait des produits gravés/cendrés. Avec cette machine, les utilisateurs peuvent s'attendre à d'excellents résultats à chaque fois.
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