Occasion GASONICS / NOVELLUS 2000 II #9093681 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS 2000 II est un graveur/asher utilisé pour la production de produits électroniques. La machine a une taille de substrat jusqu'à 254 mm (10 po) avec une surface de motif jusqu'à 81 cm2 (12,6 po x 6,4 po). Il peut graver des métaux, des diélectriques, des alliages, des revêtements de parylène et des photorésistes durcis. GASONICS 2000 II utilise la technologie brevetée GASONICS appelée faisceau COST (Controlled Sputter through Etch) pour la gravure plasma. La machine est conçue pour un haut débit combiné avec un contrôle rapide et précis du processus. Il est également équipé d'un faisceau BOOST automatique pour améliorer les processus de gravure de plasma. NOVELLUS 2000 II a une plage de pression de processus de 1-4 mTorr dans la chambre de processus, et un temps de processus allant jusqu'à 20 minutes. Il a une précision de dimension critique (CD) haute vitesse de 3,2 µm ou mieux. Un réseau optionnel de sources peut être utilisé pour étendre la capacité de gravure de la machine. Il s'agit notamment d'une source laser CEM de forte puissance, d'une source à sputter continu, d'une source à plasma OES ou d'une source à résonance cyclotron électronique (ECR). La régulation de la température du procédé est associée à une option avancée de refroidissement, y compris une combinaison de refroidissement par évaporation et de refroidissement par convection vers le bas. 2000 II est une plate-forme à double étage entièrement métallique avec un système intégré de chauffage par substrat et une distribution rapide de gaz. Les volumes des chambres de traitement de 2 litres (gravure basse pression) et 4,85 litres (gravure haute pression) peuvent être utilisés pour les processus de gravure. GASONICS/NOVELLUS 2000 II intègre un équipement de surveillance des processus comprenant un spectromètre laser, un moniteur de particules en temps réel et un profileur optique rétroviseur. Le produit LT peut être utilisé pour le contrôle avancé des processus. Il est équipé d'un système de vision Benchtop pour améliorer le contrôle des processus. GASONICS 2000 II est un outil idéal pour la gravure d'une large gamme de matériaux, de l'argent, des alliages de cuivre et des revêtements Parylène, pour une utilisation dans des procédés de production avancés. Avec sa grande précision, son équipement de contrôle et de contrôle des processus, la machine est un choix idéal pour produire des motifs très complexes avec un minimum de déchets.