Occasion GASONICS / NOVELLUS A 2000LL #293595026 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS A 2000LL est un graveur/asher haute performance, conçu pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Il utilise une technologie avancée de gravure plasma et de cendrage pour permettre la gravure contrôlée et le cendrage de divers types de matériaux à un niveau élevé de précision. Le dispositif utilise un puissant magnétron pour créer un plasma à haute énergie qui est très efficace dans la gravure et la cueillette de divers types de matériaux. Son algorithme de contrôle avancé pour contrôler précisément les paramètres assure une variation de processus minimale, une répétabilité et des rendements améliorés. Pour obtenir les résultats de gravure et de cendrage souhaités, GASONICS A 2000LL utilise un système à 2 chambres avancé qui permet un haut degré d'uniformité et de précision dans la gravure et le cendrage. On commence par introduire dans la première chambre un mélange de gaz de gravure et de gaz de cueillette. Un plasma couplé inductivement est produit par irradiation du gaz par rayonnement radiofréquence, qui sera utilisé pour graver et aspirer les matériaux. Le plasma est désactivé à la fin du cycle de gravure/ashing et la chambre est vidée des gaz de traitement. Le procédé est ensuite poursuivi dans la deuxième chambre en introduisant des gaz frais de gravure et de cueillette. Ce dispositif utilise également des techniques efficaces de gestion thermique pour des performances de gravure et de cendrage précises. Le parcours de la chambre est contrôlé en température pour assurer l'uniformité et la cohérence du processus. Un cycle de nettoyage haute pression est autorisé dans cette chambre, ce qui contribue à réduire la surexposition latérale. Ce dispositif peut également ajuster la fréquence et la grandeur du générateur RF en fonction de l'application. Avec sa technologie avancée de gravure et de cendrage par plasma, son magnétron puissant et ses techniques efficaces de gestion thermique, NOVELLUS A 2000LL est un dispositif exceptionnel pour graver et aspirer différents types de matériaux avec un haut niveau de précision. Il fournit un excellent rendement, la répétabilité des processus et des améliorations significatives de la fiabilité.