Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293586844 à vendre en France

GASONICS/GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour créer des surfaces planes et des structures de dispositifs bien définies sur un substrat. GASONICS Aura 1000 est composé de trois composants principaux : un module de distribution de gaz, une alimentation électrique et une plate-forme physique. Il est conçu pour produire des résultats uniformes et de haute qualité pour une variété de matériaux de substrat, y compris le silicium, le quartz et le nitrure. Le module de distribution de gaz permet une large gamme de procédés chimiques et de procédés d'ablation spécifiques aux matériaux. Il dispose d'un contrôle indépendant de jusqu'à quatre gaz précurseurs et plusieurs gaz de support d'argon, permettant une flexibilité avec des géométries et des numéros de couches uniques. Les débits typiques varient de 0,1 à 10 SLPM, permettant un contrôle précis du débit de gaz tout en réduisant la quantité de réactifs nécessaires. Un stabilisateur de pression est capable de contrôler la pression à l'intérieur de la chambre pour réguler la vitesse de gravure et minimiser la formation de défauts en surface. L'alimentation fournit une puissance fiable et de haute précision avec une excellente stabilité à la température du dispositif. Il possède une capacité de contrôle des impulsions avec une large gamme de 10 à 100 µs. L'alimentation électrique permet également une alimentation élevée, jusqu'à 400 watts, avec des taux de répétition d'impulsions et une fréquence réglables. La plate-forme physique de NOVELLUS Aura 1000 est conçue pour la stabilité, la robustesse et la précision. Il mesure 40 "de largeur, 40" de longueur et 55 "de hauteur, et est monté sur une base isolée pour contrôler les vibrations, réduisant la rupture de la plaquette due au mouvement. Il dispose également d'une grande chambre de traitement sans particules, d'un diamètre de 20 ", permettant le traitement simultané de plus grandes tailles de plaquettes. En conclusion, NOVELLUS/Aura 1000 est un graveur/asher spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre une flexibilité avec des processus d'ablation spécifiques aux matériaux et une puissance fiable et de haute précision avec une excellente stabilité à la température. De plus, sa grande chambre de traitement sans particules permet de traiter de plus grandes plaquettes avec plus de précision et de stabilité, ce qui donne des structures de dispositifs bien définies.