Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293594312 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher de pointe conçu pour fournir des procédés avancés et de haute précision pour la fabrication de dispositifs de sous-45nm. Un graveur classique est utilisé pour sculpter des zones indésirables d'un substrat, tandis qu'un asher utilise un procédé chimique pour conformer un film à un substrat, permettant de « graver » des détails très fins et uniformes. GASONICS Aura 1000 combine la précision d'un asher avec l'efficacité d'un graveur conventionnel pour fournir une solution optimisée pour des performances élevées, un faible coût, et la flexibilité. NOVELLUS Aura 1000 utilise deux filtres magnétiques pour fournir une technologie de gravure et de cendrage ajustée et adaptée. Le premier filtre est un chemin de source sous vide qui permet la production d'une gravure ultra fine des structures avec des résolutions jusqu'à 37.5nm. C'est actuellement la meilleure résolution disponible dans cette classe de systèmes de gravure/cendres. Le second filtre est un chemin source de gaz inerte pour supporter un ashing conforme à des résolutions inférieures à 45nm. Aura 1000 dispose également d'un équipement d'observation de surface in situ qui utilise l'imagerie par faisceau optique couplée à une caméra CCD numérique. Ce système permet de surveiller en ligne le profil de surface et de régler les conditions de gravure afin d'améliorer la précision, la résolution et la répétabilité. Le dispositif supporte également la gravure de traces photorésistantes pour la gravure des couches de nitrure, de silicium polycristallin et de cuivre ainsi que de nombreux autres matériaux. La capacité de traitement multi-niveaux est une autre caractéristique de GASONICS/NOVELLUS Aura 1000. L'unité permet le traitement parallèle complet de plusieurs couches en un seul cycle, avec jusqu'à 12 niveaux de gravure/cendres. Ceci permet une flexibilité maximale dans l'adaptation des conditions de gravure/cendres d'un substrat à l'autre. Enfin, GASONICS Aura 1000 propose une variété de modules de processus qui permettent une adaptation rapide pour d'autres processus de gravure/cendres. Les modules offrent à l'utilisateur une flexibilité accrue, ainsi que la capacité d'atteindre un débit plus élevé sans avoir à effectuer de travail d'installation supplémentaire. En résumé, NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher innovant optimisé pour des performances élevées, un faible coût et une flexibilité. Ses deux filtres magnétiques et sa machine d'observation de surface in situ en font un dispositif de pointe qui offre une résolution et une répétabilité inégalées. La capacité de traitement multi-niveaux et les modules de processus en font également un choix idéal pour une grande variété d'applications.