Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293621802 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher avancé, conçu pour la production de composants à base de semi-conducteurs. Ce système est capable de graver, couper et d'autres procédés. Il est capable de traiter thermiquement des plaquettes d'une taille allant jusqu'à 8 pouces et utilisant un large éventail de technologies, telles que la gravure RF, la gravure séquentielle, la gravure à 2 canaux, et des combinaisons de techniques précédemment mentionnées, GASONICS Aura 1000 est une unité de gravure/asher puissante pour la production, le développement et la recherche de produits semi-conducteurs. NOVELLUS Aura 1000 utilise une gamme de systèmes de distribution de gaz pour améliorer la précision et la cohérence des processus de gravure dure, ce qui permet une résolution plus fine et un profil de gravure plus propre sur des dimensions plus grandes et uniformes de substrats semi-conducteurs. L'unité est conçue pour assurer un contrôle précis de la température de la chambre de gravure/asher à partir de réglages de température précis, assurant ainsi des processus de gravure précis. En outre, l'unité dispose d'une machine de ventilation à jet thermique avancée qui assure un refroidissement uniforme de la chambre de procédé et du substrat pendant tout le processus de gravure, évitant la surchauffe du substrat et les déchets d'énergie. Aura 1000 comprend également un module de manipulation du gaz, capable de régler la pression et la composition du gaz sur une large gamme de gaz à l'intérieur de la chambre de gravure/asher. Cela permet à l'utilisateur d'affiner la composition gazeuse à la volée tout en veillant à ce que les paramètres du processus de gravure/asher restent cohérents pendant la durée du traitement du substrat. En plus de ses capacités de gravure/ashing, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 fournit une gamme de fonctions utiles supplémentaires. Son générateur d'impulsions haute tension et haute puissance est capable de créer des impulsions de haute énergie, permettant la création de couches de gravure/asher dures, durables et de haute densité. Il dispose également d'un outil de contrôle pour les processus de gravure profonde qui permet de contrôler avec précision les profondeurs de gravure profonde et les processus de gravure uniformes sur l'ensemble du substrat. L'unité offre également une gamme d'options d'automatisation temps/température de processus, permettant aux utilisateurs de personnaliser leur processus de gravure/asher en fonction de leurs besoins spécifiques. GASONICS Aura 1000 offre une gamme de capacités de gravure/asher, ce qui en fait un atout précieux pour la production, le développement et les environnements de recherche. Sa gamme de procédés, d'options de contrôle et de fonctions de manipulation du gaz fournit aux utilisateurs un modèle de gravure/asher polyvalent et puissant, capable de produire des résultats cohérents et fiables sur un large éventail de substrats.