Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #293811105 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher plasma très avancé et polyvalent utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour des processus précis d'enlèvement et de nettoyage des matériaux. Cet outil combine les fonctionnalités de gravure et d'ashing dans une même plate-forme, ce qui en fait une solution rentable et peu encombrante pour les fabricants de semi-conducteurs. Au cœur de GASONICS Aura 1000 se trouve sa chambre de traitement plasma haute performance, conçue pour générer un environnement plasma basse pression et haute densité. Cette chambre à plasma est équipée de sources d'énergie radio-fréquence (RF) de pointe et de systèmes de distribution de gaz pour créer et entretenir le plasma nécessaire aux processus de gravure et d'ashing. NOVELLUS Aura 1000 offre une large gamme de capacités de processus, y compris la gravure isotrope et anisotrope, ainsi que le cendrage précis de photorésist et d'autres matériaux organiques. Ce système offre un excellent contrôle et répétabilité des processus, permettant de personnaliser des paramètres tels que les débits de gaz, la pression, la température et la puissance RF pour atteindre les vitesses de gravure et la sélectivité souhaitées. Une caractéristique clé d'Aura 1000 est son unité de détection d'endpoint avancée, qui surveille avec précision l'avancement du processus de gravure/ashing en temps réel. En analysant les spectres d'émission optique ou d'autres signaux pertinents, la machine peut déterminer avec précision quand le paramètre désiré a été atteint, en assurant un contrôle précis du procédé et en minimisant la surgravure ou la sous-gravure. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est également équipé de capacités avancées de manutention des plaquettes, permettant le traitement de différentes tailles et types de plaquettes. L'outil est conçu pour le traitement monobloc et par lots, offrant flexibilité et optimisation de débit pour différents besoins de fabrication. En outre, GASONICS Aura 1000 intègre des systèmes innovants de distribution et de mélange de gaz, permettant un contrôle précis des gaz et réactifs de procédé pour des performances de gravure/ashing optimales. L'actif peut être configuré avec une variété de sources de gaz, y compris des produits chimiques à base de fluor, de chlore et d'oxygène, afin de répondre aux exigences spécifiques du procédé et d'atteindre la sélectivité de gravure et le contrôle de profil désirés. En termes de contrôle et d'automatisation des modèles, NOVELLUS Aura 1000 est équipé d'une interface conviviale et de capacités logicielles avancées pour la gestion des recettes, l'enregistrement des données et la surveillance des processus. L'équipement permet la programmation facile des recettes de processus et des paramètres, ainsi que l'intégration avec les systèmes d'automatisation en usine pour le suivi et l'ordonnancement des plaquettes sans soudure. Dans l'ensemble, Aura 1000 est un système de graveur/asher plasma très sophistiqué et fiable qui offre des performances de processus, une flexibilité et un contrôle supérieurs pour les fabricants de semi-conducteurs. Avec ses capacités avancées, son contrôle précis des processus et son maniement efficace des plaquettes, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un outil essentiel pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et à haut rendement.