Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9105746 à vendre en France
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ID: 9105746
Taille de la plaquette: 4"-6"
Plasma ashers, 4" - 6"
Option available: Dry pumps
208 V, 50 Hz, 20 A, 3Ph.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur et asher avancé qui combine les forces établies de GASONICS et NOVELLUS pour créer un outil robuste et à haut débit. Utilisant la technologie de gravure ionique réactive à basse température (RIE) GASONICS/NOVELLUS, ainsi que la technologie de traitement à haute température GASONICS Aura 1000 peut traiter un large éventail de matériaux, ce qui en fait un choix idéal pour toute recherche et développement, ou application commerciale. NOVELLUS Aura 1000 peut effectuer des gravures à une large gamme de températures (jusqu'à 700 ° C si nécessaire), garantissant un profil de gravure de qualité et un débit élevé. Le système NOVELLUS RIE se compose d'une bobine à basse température hautement inductive et d'une électronique de commande qui permettent un contrôle précis de la température, de la pression et du débit de gravure. Cela permet d'assurer un profil de gravure et une répétabilité de processus cohérents. Aura 1000 offre également une capacité de gravure avancée via le microfisseur directionnel GASONICS/NOVELLUS RIE. Ce procédé permet une gravure précise et directionnelle dans les processus verticaux et horizontaux, avec une précision et une répétabilité élevées. Par exemple, les processus de gravure arrière peuvent être contrôlés afin d'assurer la profondeur, le vide et la forme et la taille requises. La combinaison de la technologie de microfissure directionnelle GASONICS RIE et NOVELLUS est disponible en mode lot et monobloc, ce qui en fait un outil idéal pour les processus de recherche et de production nécessitant une gravure directionnelle. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un outil plug-and-play avec une plate-forme ouverte qui le rend hautement configurable. Une large gamme d'accessoires et d'options sont également disponibles pour personnaliser le système à votre flux de travail a besoin d'une brise. Il est conçu pour profiter de la technologie de pointe GASONICS/NOVELLUS et GASONICS et peut se développer avec vos applications. GASONICS Aura 1000 est un graveur et asher fiable et fiable qui combine le meilleur des deux mondes. La capacité de gravure avancée, un contrôle de la température et de la pression très précis, combinée à des capacités robustes à haut débit, en font un outil de référence pour les scientifiques et les ingénieurs à la recherche d'une solution de procédé polyvalente et efficace.
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