Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9171308 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est une classe de systèmes de gravure Goliath conçus pour répondre aux besoins de pointe des procédés lithographiques. GASONICS dispose d'une chambre unique, semblable à une tranchée, qui contient des éléments chauffants RF contrôlés par ordinateur de précision pour permettre une excellente précision et uniformité de traitement. La chambre Etch sur GASONICS Aura 1000 est construite à partir de matériaux à base de siliconés et de quartz revêtus d'une céramique haute performance, ce qui contribue à protéger la chambre de la corrosion et des particules. A l'intérieur, la chambre est équipée d'un rotateur intégré qui permet un processus de chauffage uniforme pour l'ensemble du substrat. NOVELLUS Aura 1000 comprend également un équipement de contrôle mécanique avancé pour établir un environnement de vide dans la chambre. Ceci, combiné aux éléments chauffants RF supplémentaires, permet un profil de substrat uniforme sans affecter les structures des matériaux de substrat. Aura 1000 est également équipé d'un système avancé de surveillance du processus de gravure appelé Smart Process Control. Cette unité permet de mesurer et de surveiller l'environnement de gravure dans la chambre et de mesurer avec précision les aspects du procédé tels que la température, la pression et le niveau de fréquence RF. La machine est également programmée pour permettre des réglages en fonction des besoins spécifiques des applications de processus. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 dispose également d'un outil de livraison de matériaux de haute précision qui permet la livraison précise de matériaux directement dans la chambre de gravure. Il est équipé en standard d'une chambre de transfert de précision, qui assure une livraison de matériau propre et de haute précision et un débit de substrat élevé. A titre de précaution supplémentaire, la machine comporte également un actif de retour haute pression qui empêche toute particule aéroportée d'entrer dans sa chambre. GASONICS Aura 1000 est capable de traiter une variété de matériaux, du silicium et du quartz aux métaux et à la céramique. Il est programmable pour ajuster les paramètres afin de permettre une gravure optimale de divers matériaux, y compris les structures les plus difficiles comme les microvias, tranchées et couches de masque. NOVELLUS Aura 1000 est un outil inestimable pour toute installation de gravure et d'asher et est capable d'augmenter considérablement l'efficacité et la précision des processus. Que ce soit le traitement de structures sensibles ou de matériaux en alliage dur, cette machine est un choix puissant et fiable pour la gravure.