Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9186489 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un équipement de gravure de nouvelle génération conçu pour la production en grand volume de caractéristiques uniques de gravure haute résolution sur plaquettes de silicium. Il dispose d'une plate-forme d'entraînement direct avancée qui permet une gravure plus précise des fonctionnalités et une infrastructure de processus simplifiée. Il offre un meilleur contrôle sur les paramètres de gravure, des temps de cycle plus rapides et une qualité de film supérieure, ce qui entraîne moins de défauts dans le processus. GASONICS Aura 1000 est équipé de la dernière génération de matériel de gravure, basé sur l'architecture CVD de terrain GASONICS, et est configurable avec une variété de modules de gravure. La plaque de gravure est alimentée par un réseau de générateurs de gravure MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) qui permet de tracer avec une grande précision les tranchées étroites et d'autres caractéristiques de gravure avancées. De plus, la plate-forme supporte une architecture de registre à décalage pour réduire le temps de fonctionnement associé au déplacement de la plaquette entre les étapes de gravure. NOVELLUS Aura 1000 maintient des performances de gravure fiables en appliquant un algorithme avancé d'optimisation des recettes, qui ajuste automatiquement les paramètres de gravure pour correspondre aux propriétés matérielles de la plaquette, assurant ainsi des performances de gravure cohérentes. Cette fonctionnalité est particulièrement utile pour travailler avec des films uniques ou des structures multicouches. Aura 1000 est également équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, dont une chambre fermée, un interrupteur d'arrêt de sécurité et la technologie d'interception la plus récente. Il est également conçu pour résister aux surtensions électriques et autres problèmes de puissance dommageables. De plus, l'unité est équipée d'un filtre d'échappement pour réduire la quantité de particules présentes dans la zone de procédé. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 peut traiter jusqu'à huit plaquettes en parallèle, et il a été conçu pour profiter des derniers protocoles de communication à grande vitesse, ce qui en fait un choix idéal pour les systèmes nécessitant un débit et une répétabilité élevés. Il est également compatible avec les outils et les infrastructures standard de l'industrie, y compris les systèmes d'automatisation. Dans l'ensemble, GASONICS Aura 1000 est une machine de gravure de pointe qui offre une gravure de haute précision, des temps de cycle rapides et une infrastructure de processus simplifiée. Avec ses performances fiables et ses caractéristiques de sécurité, NOVELLUS Aura 1000 est un choix idéal pour les applications de gravure de semi-conducteurs.