Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9188601 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher avancé utilisé pour des procédés de lithographie avancés qui sont utilisés dans la fabrication de circuits intégrés (IC). GASONICS Aura 1000 est conçu pour supporter un large éventail d'applications et de procédés, tels que l'oxydation haute grille, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt physique en phase vapeur (PVD) et l'implantation ionique. Il utilise un processus de gravure/cendres en plusieurs étapes pour un contrôle précis du processus et une qualité de gravure améliorée. NOVELLUS Aura 1000 est assemblé avec un design robuste, modulaire et évolutif qui offre un environnement de travail fiable et une fiabilité des équipements à long terme. Il est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre et avec une plage d'épaisseur de 0,35 mm. Le système dispose d'une architecture à plusieurs étages qui fournit un contrôle précis des processus et une qualité de gravure améliorée. Il dispose de systèmes automatisés de levage, de chargement et de déchargement du couvercle avec une uniformité complète entre les étagères. Aura 1000 a la capacité de fournir des niveaux élevés de résolution et de gravure à haut rapport d'aspect avec des dommages minimaux aux parois latérales. Il est équipé de plusieurs composants avancés dont un scanner haute résolution, un micro-processeur avancé et un pistolet à pulvérisation de précision. Ces composants sont conçus pour fournir des capacités de gravure extrêmement précises, y compris le contrôle de l'espacement et de la largeur des lignes de support de fonctionnalités fines. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est équipé d'une unité de contrôle de haute zone (ZSC) pour la gravure précise de petites caractéristiques. Il a également une capacité de balayage rapide pour des taux de gravure rapides. La fonctionnalité avancée de micro-processeur de la machine assure la mise en œuvre rapide des programmes de gravure. Sa commande de balayage ultra haute vitesse assure une gravure plus précise des petites caractéristiques. De plus, l'outil est équipé de technologies de nettoyage puissantes, telles que des bains d'eau désionisée atomisés à haute pression, qui permettent un nettoyage efficace des substrats post-gravure. En résumé, GASONICS Aura 1000 est un graveur/asher avancé utilisé pour les procédés de lithographie haut de gamme. C'est un atout modulaire et évolutif qui peut traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre et avec une plage d'épaisseur de 0,35 mm. Le modèle est équipé de plusieurs composants avancés tels qu'un scanner haute résolution, un micro-processeur avancé et un pistolet à pulvérisation de précision. En outre, il dispose d'une capacité de balayage rapide pour les vitesses de gravure rapides, d'un contrôle de balayage ultra-rapide pour l'espacement des fonctions fines et les largeurs de ligne, de technologies de nettoyage avancées et d'un équipement de contrôle de balayage haute zone (ZSC) pour la gravure précise de petites caractéristiques.