Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9194328 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher de classe industrielle, conçu pour les substrats sensibles aux nanomatériaux. Il utilise une technologie de vide brevetée pour permettre un contrôle précis des vitesses de gravure, de la profondeur, de l'uniformité et de l'alignement des caractéristiques d'un lot à l'autre. Le graveur/asher est équipé d'une source de plasma ultra-précise pour une gravure précise des motifs nanométriques. La source utilise du gaz hélium sans ozone et est capable d'une vitesse de gravure allant jusqu'à 20nm par minute. Grâce à sa grande précision, l'unité peut atteindre des tailles de fonctionnalités de l'ordre de 2nm avec une uniformité de 0.02nm. Il comprend une gamme complète de fonctionnalités matérielles et logicielles qui visent à maintenir le coût de la propriété faible et maximiser le débit. Les alimentations comprennent des options manuelles et de télécommande. Il existe un choix de deux cartes de substrat - manuelle et automatique - qui permettent aux utilisateurs de sélectionner les caractéristiques exactes souhaitées. GASONICS Aura 1000 est capable d'effectuer des tests complets, y compris le contrôle de la vitesse de gravure et du profil. Les options offertes à l'utilisateur comprennent le dépôt de film, l'imagerie de plaquettes, le conditionnement des gaz avant gravure et d'autres options de pointe qui permettent une gravure plus précise des plus petites caractéristiques. L'unité dispose également de capacités intégrées de dépannage de processus qui peuvent fournir des conseils sur l'amélioration du processus de gravure. L'unité est livrée avec une interface graphique intuitive et conviviale qui fournit un environnement interactif pour les utilisateurs pour configurer et surveiller les processus. NOVELLUS Aura 1000 dispose également d'une suite d'outils de diagnostic qui permettent aux utilisateurs de diagnostiquer et de résoudre les problèmes rapidement. L'unité dispose également de robotique à libération rapide, qui permettent aux utilisateurs de recharger et décharger des plaquettes avec une intervention minimale de l'opérateur. Il dispose également d'un support pour une gamme complète de formes et de tailles de plaquettes, permettant aux utilisateurs d'atteindre les exigences de balisage parfaites. Dans l'ensemble, Aura 1000 est un outil de gravure puissant conçu pour offrir aux utilisateurs des performances et une fiabilité de calibre mondial. Il est conçu pour être utilisé dans des environnements de R&D et de production à petite échelle, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications en microélectronique.