Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9210307 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher sophistiqué qui est utilisé dans la production de semi-conducteurs et d'autres procédés complexes qui nécessitent un contrôle précis et répétable. Il s'agit d'un équipement de cendrage avancé à haut débit pour le traitement de l'aluminium et d'autres matériaux sur plaquettes de 200mm et 300mm. Il est capable de manipuler une variété de substrats et offre des performances supérieures en termes de débit et de résistance à la réduction des résidus. GASONICS Aura 1000 dispose d'une technologie de gravure brevetée de pointe qui grave avec précision et précision l'aluminium et d'autres matériaux. Il a un processus de gravure évolutif, à haut débit et uniforme qui est capable de manipuler une large gamme de tailles de plaquettes. Une combinaison de revêtements asymétriques et symétriques permet de graver les substrats sans sous-découpe et dans des tolérances de processus serrées. Le système à deux chambres dispose également de capacités individuelles de hucking et de cueillette, ce qui permet de peaufiner et de contrôler les processus au besoin. NOVELLUS Aura 1000 comprend également un design modularisé pour une installation et un entretien rapides et faciles. Aura 1000 supporte une large gamme de courbes unitaires, de niveaux de puissance et de configurations de chambres pour répondre aux besoins de divers processus. Il bénéficie d'un débit 100 fois plus faible (économies de coûts et de temps) par rapport aux anciens systèmes et peut efficacement réduire la variation de dimension critique jusqu'à 50 %. Le procédé de gravure uniforme à haut débit permet un meilleur contrôle de l'uniformité de l'épaisseur des plaquettes et permet des résultats reproductibles et prêts à la production. La machine dispose également d'une large interface utilisateur intuitive pour la programmation, la surveillance et l'avancement des flux de processus. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 utilise une technologie de manutention exclusive de pointe et un contrôle climatique de pointe pour garantir des résultats cohérents et supérieurs. Il offre une répétabilité et une uniformité supérieures dans les processus de gravure et de résistance au décapage, assurant des processus optimisés. La technologie avancée de manutention des plaquettes offre la flexibilité nécessaire pour passer facilement de la gravure à la cendre sans nécessiter d'équipement supplémentaire. Les chambres à température contrôlée permettent également d'améliorer la pureté du N2 et d'augmenter la répétabilité des procédés. En outre, GASONICS Aura 1000 dispose de capacités d'autodiagnostic avancées et de rapports détaillés pour garantir une performance optimale de l'outil. Il utilise des capteurs avancés et contrôle serré de l'environnement de gravure pour s'assurer que les paramètres sont respectés. Les options d'automatisation avancées permettent également à l'utilisateur de faire des ajustements à la volée, garantissant des résultats précis et reproductibles. Dans l'ensemble, NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher puissant et performant capable de manipuler un large éventail de matériaux. Il s'agit d'une solution rentable qui fournit des résultats reproductibles et précis pour une variété de processus. Il est également facile à installer et à entretenir, assurant des performances fiables et à long terme.
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