Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9242400 à vendre en France

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ID: 9242400
Asher Throttle valve controller & MFCs included Does not include pump.
GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher de haute technologie avec une large gamme d'applications. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive et est conçu pour travailler avec une formation minimale de l'opérateur, lui permettant d'effectuer des tâches de gravure et de nettoyage complexes de manière simple et efficace. L'équipement dispose d'une source de plasma cathodique basse tension, lui permettant de graver à des températures et des profondeurs variables, tout en maintenant l'uniformité. L'écran d'affichage est un écran LCD couleur et est relié directement à l'ordinateur de bord du système, ce qui permet à l'utilisateur de contrôler facilement les paramètres de gravure. GASONICS Aura 1000 dispose également d'une unité de collage/débonder intégrée, permettant une fixation et un retrait rapides et précis des plaquettes. Ce dispositif est capable de traitement rapide des lots, ce qui signifie qu'il peut graver, laver et nettoyer des centaines de plaquettes en un seul lot, augmentant considérablement le débit. La machine Plasma-Guard fournit une étape secondaire de nettoyage en panne pour garantir un meilleur contrôle du processus. NOVELLUS Aura 1000 a un processus de gravure physique en deux étapes : gravure ionique réactive et gravure chimique plasma. Cela permet à l'utilisateur d'obtenir une profondeur de gravure précise, ainsi que des temps de processus précis. Le procédé de gravure permet également un excellent contrôle de l'amincissement des couches, important lors de la création de structures multicouches de photorésist ou de cuivre. L'unité est construite pour une longue durée de vie et nécessite un entretien minimal. L'outil est accessible via l'interface utilisateur, avec des fonctions de dépannage et de diagnostic qui permettent un travail rapide et précis. Dans l'ensemble, Aura 1000 est un outil de gravure intuitif et haut de gamme conçu pour l'efficacité, la précision et la commodité. Sa large gamme de fonctionnalités et son niveau d'automatisation en font un excellent choix pour les applications de gravure ou de nettoyage, offrant des performances exceptionnelles pour une multitude de processus de wafer et de composants.
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